B81B

Definition

Sehr kleine mikromechanische Anordnungen, die wenigstens einen für den Betrieb wesentlichen Bestandteil einschließen, der alle folgenden Eigenschaften aufweist:

• Der Bestandteil kann nicht ohne Zuhilfenahme eines optischen Mikroskops erkannt werden (d.h. er besitzt wesentliche Merkmale, die in wenigstens einer Dimension sehr kleine Abmessungen aufweisen, typischerweise im Bereich von 10^-4 bis 10^-7 Metern).
• Der Bestandteil ist im Betriebszustand beweglich, flexibel oder verformbar.

Sehr kleine dreidimensionale Strukturverbände (d.h. Mikrostrukturen), die alle folgenden Eigenschaften aufweisen:

• Sie können nicht ohne Zuhilfenahme eines optischen Mikroskops erkannt werden (d.h. sie besitzen wesentliche Merkmale, die in wenigstens einer Dimension sehr kleine Abmessungen aufweisen).
• alle Teilbereiche jeder einzelnen Struktur sind während des Betriebes unbeweglich und unnachgiebig (d.h. nicht beweglich, flexibel oder verformbar) in Bezug auf andere Teilbereiche des Strukturverbandes, und
• sie sind so ausgelegt, eine wesentliche und rein strukturelle Funktion bei der Wechselwirkung mit ihrer lokalen Umgebung auszuüben (z.B. ein Flügelrad zur Veränderung der Umgebungsbedingungen eines Fluidweges); diese Funktion ist von Natur aus mechanisch, im Gegensatz zu einer chemischen oder elektronischen Funktion, gleichgültig ob die Strukturverbände aus einem bestimmten Material auf einem üblichen Substrat mit getrennten mikromechanischen, mikroelektronischen oder mikrooptischen Bauelementen hergestellt werden.

Systeme die ein eigenständiges mikromechanisches Bauteil oder eine Mikrostruktur und mindestens ein anderes mikromechanisches, mikroelektronisches oder mikrooptisches Bauteil aufweisen (z.B. mikromechanische Systeme, mikroelektro-mechanische Systeme/MEMS, mikrooptisch-mechanische Systeme), die alle folgenden Eigenschaften aufweisen:

• sie werden auf einem gemeinsamen Substrat hergestellt,
• sie sind so miteinander verschaltet, dass sie als Bestandteile eines Systems zusammenwirken (z.B. Pumpen-Rohr-System, mikroelektronische Steuerung, Analyse oder Signaleinrichtung zur Funktionskontrolle eines mikromechanischen Bauteils), und
• sie haben getrennte Funktionen, die jede für sich dazu vorgesehen sind, einen bestimmten Aspekt für ein mögliches Endergebnis des Systems zu bearbeiten (d.h. kein Mikrobauteil ist nur ein Teil eines anderen Mikrobauteils).

Bestandteile mikromechanischer Bauelemente oder Mikrostrukturen, die derartige strukturelle Merkmale aufweisen, die sie auf den Gebrauch mit ihrem Bauelement oder mit ihrer Struktur beschränken.

Beziehungen zu anderen Klassifikationsstellen

Allgemeine Beziehung von Mikrostrukturen aus B81B mit Strukturen mit sehr kleinen Abmessungen der Unterklassen der Sektionen C und H

Die Mikrostrukturen dieser Klasse üben eine strukturelle Funktion aus, wenn sie mit ihrer lokalen Umgebung wechselwirken; sie sind extra dafür ausgestaltet, diese Funktion zu erfüllen. Diese Voraussetzung schließt eine Klassifizierung von Strukturen mit sehr kleinen Abmessungen in dieser Unterklasse aus, wenn die Strukturen

• dazu vorgesehen sind, eine elektrische oder optische Funktion auszuführen oder diese auf natürlichem Wege zustande bringen (z.B. Mikroprozessoren, Lichtleiter, elektrische Leiter)
• als bloße Nebenprodukte chemischer oder biologischer Prozesse gebildet werden (z.B. chemische Verbindungen die aus Reaktionen resultieren).

Mikroelektronische und mikrooptische Bauteile an sich werden in die Unterklassen der Sektion H , "Elektrotechnik" und G , "Physik" klassifiziert; dies auch, wenn sie bereits an sich (z.B. ein Draht mit sehr kleinen Abmessungen zwischen zwei Substraten, der das obere Substrat unterstützt) oder absichtlich (z.B. ein aerodynamisch geformter Mikroprozessor für Tragflächen) eine zweite strukturelle Funktion ausüben. Mikroelektronische und mikrooptische Bauteile finden sich jeweils in G02B, G11B, H01L, H01P und H10.

Chemisch oder biologisch ausgebildete Strukturen an sich, die reine Nebenprodukte von Verfahren sind, werden in die Unterklassen der Sektion C, "Chemie; Hüttenwesen" klassifiziert. Jedoch werden chemisch oder biologisch ausgebildete Mikrostrukturen in B81B klassifiziert, wenn sie das Hauptziel ihres Bildungsprozesses sind und diese Mikrostrukturen bei der Wechselwirkung mit ihrer lokalen Umgebung eine zugehörige strukturelle Funktion ausüben.

Beziehung von Mikrostrukturen aus B81B mit Strukturen mit sehr kleinen Abmessungen aus B32B

Mikrostrukturen, die lediglich ein Teil eines geschichteten Erzeugnisses sind (z.B. verbundene oder ummantelte Substrate mit sehr kleinen Abmessungen ), werden in B32B klassifiziert, wenn ihr Einsatzbereich nicht genauer definiert ist, sondern sie für den allgemeinen Gebrauch bestimmt sind. Jedoch werden sie in B81B klassifiziert, wenn wenigstens eine der Schichten des geschichteten Erzeugnisses sehr kleine Abmessungen aufweist und eine bestimmte strukturelle Funktion erfüllt (z.B. bilden wabenförmige Schichten Kanäle mit sehr kleinen Abmessungen , die eine Flüssigkeit zu einer Mikropumpe leiten).

Spezielle Klassifizierungsregeln zwischen dieser und anderen Unterklassen

Wenn der Betrieb oder der praktische Nutzen von Bauteilen, Strukturen oder Systemen mit sehr kleinen Abmessungen nicht auf den mikroskopischen Bereich beschränkt ist wie in dieser Unterklasse, muss entsprechend der strukturellen oder funktionalen Merkmale auch in die Unterklassen klassifiziert werden, die deren Ausgestaltung auf größeren Skalen abdecken.

Querverweise

Einschränkende Querverweise

Nichteinschränkende Querverweise in anwendungsorientierte Klassifikationsstellen

Informative Querverweise

Spezielle Klassifizierungsregeln

Identische mikromechanische Bauteile , Mikrostrukturen oder mikrostrukturierte Systeme, die nicht betriebsbedingt miteinander verbunden sind und lediglich auf einem gemeinsamen Trägermaterial hergestellt werden, welches ein Zwischenprodukt darstellt, werden nicht als System klassifiziert, sondern in die Gruppe, die das einzelne Bauteil, die Struktur oder das System vorsieht.

Glossar

B81B

Definition Statement

Very small micromechanical devices which include at least one essential operational component that has all of the following attributes:

the component is not visible (i.e. its significant features, in at least one dimension, cannot be discerned) without the use of an optical microscope (e.g. typically within the range of 10^-4 to 10^-7 meters), and

the component is movable, flexible, or deformable when in use.

Very small three-dimensional structural formations (i.e. microstructures) that have all of the following attributes:

they are not visible (i.e. their significant features, in at least one dimension, cannot be discerned) without the use of an optical microscope,

all portions of their formation are immovable or unyielding (i.e. not movable, flexible, or deformable) with respect to the remainder thereof when in use, and

they are designed to accomplish an essential and purely structural function and to interact with their local environment (e.g. a vane for changing surrounding fluid's flow path) in a manner that is mechanical in nature, as opposed to a chemical or electronic function, regardless of whether the formations are formed from a specific material or fabricated on a common supporting base (i.e. substrate) with separate micromechanical devices, microelectronic devices, or microoptical devices.

Systems including a discrete micromechanical device or microstructure and at least one other discrete micromechanical device, microelectronic device, or microoptical device (e.g. MicroMechanical Systems, MicroElectronic-Mechanical Systems/MEMS, Microoptical-Mechanical Systems) that have all of the following attributes:

they are fabricated on a common supporting base (i.e. substrate),

they are interconnected to operate together as components of a system (e.g. pump and piping system, a microelectronic device controlling, analyzing, or signaling the functioning of a micromechanical device), and

they have separate functional utilities that are each intended to accomplish an independent aspect (i.e. neither type of microsized device is merely an essential operational component of the other type device) of at least one possible final end result of their system.

Components of micromechanical devices or microstructures having specialized structural features that limit them to use with their device or structure.

Relationships with other classification places

General relationship of microstructures of B81B with microsized structures found in the subclasses of sections C and H

The microstructures covered by this subclass are expected to perform a structural function when interacting with their local environment and are intentionally designed to specifically perform this type of task. This requirement precludes the classification of microsized structures within this subclass that either

are designed to accomplish, or naturally accomplish, an electrical function or optical function (e.g. microprocessors, light guides, conductors), or

are structures formed as mere byproducts of chemical or biological processes (e.g. chemical compounds resulting from reactions).

Microelectronic devices and microoptical devices per se are classified in the subclasses of section H (Electricity) and G (Physics) even if they also inherently (e.g. a microsized wire between two substrates that supports the upper substrate), or intentionally (e.g. an aerodynamically shaped microprocessor on a wing), accomplish a secondary structural function. Microelectronic devices and microoptical devices are found in particular in G02B, G11B, H01L, H01P and H10.

Chemically and biologically formed structures per se that are mere byproducts of processes are classified in the subclasses of section C, "Chemistry; Metallurgy". However, chemically and biologically formed microstructures are classified in B81B when they are the primary intended product of their processes and the microstructures perform a structural function when interacting with their local environment.

Relationship of microstructures of B81B and microsized structures in B32B

Microstructures that merely form part of layered products (e.g. bonded or encased microsized substrates) are classified in B32B when their intended use is not specified or they are of general utility. However, when at least one of the layers of the layered product is microsized and accomplishes a particular structural function (e.g. honeycomb layer forms microsized channels for directing fluid to microsized pump) they are classified in B81B.

Special rules for classification between this subclass and other subclasses

If the operation or practical utility of microsized devices, structures, or systems covered by this subclass are not inherently limited to a microscopic environment, they are also obligatorily classified in the subclasses appropriately providing for their structural or functional features when produced on a larger scale.

References

Limiting references

Application-oriented references

Informative references

Special rules of classification

Identical micromechanical devices, microstructures, or microstructural systems that are not operationally interlinked to each other and are merely produced on a common substrate that is an interim product; are not classified as a system, but in the groups providing for the individual device, structure, or system.

Glossary