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Einrichtungen oder Mittel zum Abrichten, Reinigen oder anderweitigen Herrichten von Läppwerkzeugen
| B24B 53/017 |
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Einrichtungen zum Zuführen, Aufbringen, Klassieren oder Aufbereiten von Schleif-, Polier- oder Läppmitteln
| B24B 57/00 |
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Kombinationen oder Aneinanderreihungen von Metallbearbeitungsmaschinen mit Einzelheiten in Bezug auf das Fördern von Werkstücken von einer Maschine zur nächsten
| B23Q 41/02 |
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Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen zum Transportieren oder Fördern, z.B. zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen, zum Positionieren, Orientieren oder Justieren oder zum Aufnehmen oder Greifen
| H01L 21/677, H01L 21/68, H01L 21/683 |
| Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools | B24B 53/017 |
| Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents | B24B 57/00 |
| Combinations or associations of metal-working machines comprising features relating to transfer of work between machines | B23Q 41/02 |
| Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components thereof for conveying, e.g. between different work stations, for positioning, orientation or alignment, or for supporting or gripping | H01L 21/677, H01L 21/68, H01L 21/683 |