| Werkstückauflagen, z.B. einstellbare Lünetten für Schleifmaschinen oder -einrichtungen | B24B 41/06 |
| Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen hiervon, unter Verwendung besonders ausgebildeter Trägersysteme | H01L 21/673 |
| Work supports, e.g. adjustable steadies, of grinding machines or devices | B24B 41/06 |
| Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components thereof using specially adapted carriers | H01L 21/673 |