| Einzweckmaschinen oder Einrichtungen zum Schleifen von anorganischen Werkstoffen, z.B. Stein, Keramik, Porzellan | B24B 7/22 |
| Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die mechanische Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Teilen davon, zur Änderung der physikalischen Oberflächenbeschaffenheit oder zur Änderung der Form, z.B. Schleifen oder Polieren | H01L 21/304 |
| Single purpose machines or devices designed for grinding plane surfaces on inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain | B24B 7/22 |
| apparatus specially adapted for the mechanical treatment of semiconductor devices or of parts thereof to change the physical characteristics of their surfaces, or to change their shape, e.g. grinding or polishing | H01L 21/304 |