B | SK | Sektion B — Arbeitsverfahren; Transportieren |
B81 | USK | Mikrostrukturtechnik; Nanotechnik [7] |
B81 | KL | Mikrostrukturtechnik [7] |
B81B | UKL | Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente (piezoelektrische, elektrostriktive oder magnetostriktive Bauelemente an sich H01L 41/00) [7] |
B81B 1/00 | HGR | Bauelemente ohne bewegliche oder flexible Bestandteile, z.B. Bauelemente mit Mikrokapillaren [7] |
B81B 3/00 | HGR | Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen (B81B 5/00 hat Vorrang) [7] |
B81B 5/00 | HGR | Bauelemente mit in Relation zueinander beweglichen Bestandteilen, z.B. mit verschiebbaren oder drehbaren Bestandteilen [7] |
B81B 7/00 | HGR | Mikrostruktursysteme [7] |
B81B 7/02 | UGR1 | . | mit eigens ausgebildeten elektrischen oder optischen Bauelementen, die eine besondere Bedeutung für den Betrieb des Mikrostruktursystems aufweisen, z.B. mikro-elektro-mechanische Systeme [MEMS] (B81B 7/04 hat Vorrang) [7] |
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B81B 7/04 | UGR1 | . | Vernetzte oder Array-Anordnungen von ähnlichen Mikrostrukturbauelementen [7] |
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