| B | SK | Sektion B — Arbeitsverfahren; Transportieren |
| B81 | USK | Mikrostrukturtechnik; Nanotechnik [7] |
| B81 | KL | Mikrostrukturtechnik [7] |
| B81B | UKL | Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente (piezoelektrische, elektrostriktive oder magnetostriktive Bauelemente an sich H01L 41/00) [7] |
| B81C | UKL | Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen (Herstellung von Mikrokapseln und Mikrohohlkugeln B01J 13/02; Verfahren oder Geräte für die Herstellung oder Behandlung von piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Bauelementen an sich H01L 41/22) [7] |