Bibliografische Daten

Dokument DE102016216064A1 (Seiten: 6)

Bibliografische Daten Dokument DE102016216064A1 (Seiten: 6)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Schicht und Verfahren zu seiner Herstellung
71/73 Anmelder/Inhaber PA CeramTec GmbH, 73207, Plochingen, DE
72 Erfinder IN Einhellinger-Mller, Tanja, Dr., 90461, Nrnberg, DE ; Moos, Ralf, Prof.-Dr., 95447, Bayreuth, DE ; Schmidt, Tobias, 91207, Lauf, DE ; Schreiner, Hans-Jrgen, Dr., 91217, Hersbruck, DE ; Schubert, Michael, 95448, Bayreuth, DE
22/96 Anmeldedatum AD 26.08.2016
21 Anmeldenummer AN 102016216064
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 02.03.2017
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Priorität PRC
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DE
102015216312
20150826
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DE
102015221576
20151104
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DE
102016200038
20160105
51 IPC-Hauptklasse ICM H01L 41/314 (2013.01)
51 IPC-Nebenklasse ICS C23C 18/00 (2006.01)
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation H01L 41/1876 H01L 41/1876
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C01G 25/006 C01G 25/006
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation H01L 41/257 H01L 41/257
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C01P 2006/40 C01P 2006/40
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C23C 24/04 C23C 24/04
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation H01L 41/314 H01L 41/314
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation H01L 41/319 H01L 41/319
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C23C 28/32 C23C 28/32
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C23C 28/345 C23C 28/345
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation H01L 41/0815 H01L 41/0815
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation Y10T 29/42 Y10T 29/42
MCD-Hauptklasse MCM H01L 41/314 (2013.01)
MCD-Nebenklasse MCS C23C 18/00 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB [DE] Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine Schicht mit piezoelektrischen Eigenschaften sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Schicht mit piezoelektrischen Eigenschaften, insbesondere ber ein Aerosolabscheideverfahren (ADM-Prozess (Aerosol Deposition Method).
Korrekturinformation KORRINF
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP C23C 18/00 ; C23C 24/04 ; H01L 41/314