Bibliografische Daten

Dokument DE102015012425A1 (Seiten: 14)

Bibliografische Daten Dokument DE102015012425A1 (Seiten: 14)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung ( Aerosol-Depositions-Methode, ADM)
71/73 Anmelder/Inhaber PA Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE ; Engelbrecht, Andreas, Dipl.-Ing., 95503, Hummeltal, DE ; Exner, Jörg, Dipl.-Ing., 95445, Bayreuth, DE ; Hanft, Dominik, Dipl.-Ing. , 95447, Bayreuth, DE ; Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE ; Schubert, Michael, Dipl.-Ing. , 95448, Bayreuth, DE ; Stöcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
72 Erfinder IN Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE ; Engelbrecht, Andreas, Dipl.-Ing., 95503, Hummeltal, DE ; Exner, Jörg, Dipl.-Ing., 95445, Bayreuth, DE ; Hanft, Dominik, Dipl.-Ing., 95447, Bayreuth, DE ; Moos, Ralf, Prof.Dr.-Ing., 95447, Bayreuth, DE ; Schubert, Michael, Dipl.-Ing., 95448, Bayreuth, DE ; Stöcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
22/96 Anmeldedatum AD 25.09.2015
21 Anmeldenummer AN 102015012425
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 30.03.2017
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Priorität PRC
PRN
PRD


51 IPC-Hauptklasse ICM B05C 5/00 (2006.01)
51 IPC-Nebenklasse ICS B05C 15/00 (2006.01)
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC B05B 13/0405
B05B 14/30
C23C 24/04
MCD-Hauptklasse MCM B05C 5/00 (2006.01)
MCD-Nebenklasse MCS B05C 15/00 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB [DE] Die Erfindung betrifft eine Anlage zur aerosolbasierten Kaltabscheidung von Pulvern, deren Vakuumkammer, entsprechend des Vorbildes einer Saugglocke, erst während des Prozesses gebildet wird, indem ein Substrat, ein Substratträger, eine Substratauflage oder eine Düsenplatte, direkt bzw. unter Zuhilfenahme einer Dichtung, einen einseitig geöffneten Hohlkörper verschließt. Dadurch ist es möglich das Vakuumkammervolumen, unabhängig von der Substratgröße, zu reduzieren, um so Platz sowie Evakuierungs- bzw. Totzeit einzusparen.
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT US000007553376B2
US000007908993B2
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
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Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP B05C 15/00
B05C 5/00