Bibliografische Daten

Dokument DE102015012425A1 (Seiten: 14)

Bibliografische Daten Dokument DE102015012425A1 (Seiten: 14)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung ( Aerosol-Depositions-Methode, ADM)
71/73 Anmelder/Inhaber PA Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE ; Engelbrecht, Andreas, Dipl.-Ing., 95503, Hummeltal, DE ; Exner, Jrg, Dipl.-Ing., 95445, Bayreuth, DE ; Hanft, Dominik, Dipl.-Ing. , 95447, Bayreuth, DE ; Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE ; Schubert, Michael, Dipl.-Ing. , 95448, Bayreuth, DE ; Stcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
72 Erfinder IN Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE ; Engelbrecht, Andreas, Dipl.-Ing., 95503, Hummeltal, DE ; Exner, Jrg, Dipl.-Ing., 95445, Bayreuth, DE ; Hanft, Dominik, Dipl.-Ing., 95447, Bayreuth, DE ; Moos, Ralf, Prof.Dr.-Ing., 95447, Bayreuth, DE ; Schubert, Michael, Dipl.-Ing., 95448, Bayreuth, DE ; Stcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
22/96 Anmeldedatum AD 25.09.2015
21 Anmeldenummer AN 102015012425
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 30.03.2017
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Priorität PRC
PRN
PRD


51 IPC-Hauptklasse ICM B05C 5/00 (2006.01)
51 IPC-Nebenklasse ICS B05C 15/00 (2006.01)
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B05B 14/30 B05B 14/30
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C23C 24/04 C23C 24/04
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B05B 13/0405 B05B 13/0405
MCD-Hauptklasse MCM B05C 5/00 (2006.01)
MCD-Nebenklasse MCS B05C 15/00 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB [DE] Die Erfindung betrifft eine Anlage zur aerosolbasierten Kaltabscheidung von Pulvern, deren Vakuumkammer, entsprechend des Vorbildes einer Saugglocke, erst whrend des Prozesses gebildet wird, indem ein Substrat, ein Substrattrger, eine Substratauflage oder eine Dsenplatte, direkt bzw. unter Zuhilfenahme einer Dichtung, einen einseitig geffneten Hohlkrper verschliet. Dadurch ist es mglich das Vakuumkammervolumen, unabhngig von der Substratgre, zu reduzieren, um so Platz sowie Evakuierungs- bzw. Totzeit einzusparen.
Korrekturinformation KORRINF
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
US000007553376B2
US000007908993B2
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP B05C 5/00 ; B05C 15/00