Bibliografische Daten

Dokument DE102013114718A1 (Seiten: 15)

Bibliografische Daten Dokument DE102013114718A1 (Seiten: 15)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Vorrichtung zum Beschichten von planaren Substraten
71/73 Anmelder/Inhaber PA Leibniz-Institut fr Neue Materialien gemeinntzige GmbH, 66123, Saarbrcken, DE
72 Erfinder IN Beermann, Herbert, 66806, Ensdorf, DE ; Drumm, Robert, 66113, Saarbrcken, DE ; Jilavi, Mohammad Hossein, Dr., 66459, Kirkel, DE ; Schmitt, Karl Peter, Grosbliederstroff, FR ; Schfer, Bruno, 66679, Losheim, DE ; Serwas, Dietmar, 66299, Friedrichsthal, DE ; de Oliveira, Peter William, Dr., 66111, Saarbrcken, DE
22/96 Anmeldedatum AD 20.12.2013
21 Anmeldenummer AN 102013114718
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 25.06.2015
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Priorität PRC
PRN
PRD


51 IPC-Hauptklasse ICM B05C 3/18 (2006.01)
51 IPC-Nebenklasse ICS
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation G03F 7/16 G03F 7/16
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B05C 11/047 B05C 11/047
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B05C 11/04 B05C 11/04
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B05C 3/18 B05C 3/18
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation H01J 9/205 H01J 9/205
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B05C 9/02 B05C 9/02
MCD-Hauptklasse MCM B05C 3/18 (2006.01)
MCD-Nebenklasse MCS
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB [DE] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschichtung von planaren Substraten, bei dem ein Beschichtungskopf mit einer Vertiefung relativ zu einem Substrat bewegt wird, so dass eine in der Vertiefung befindliche Beschichtungszusammensetzung auf das Substrat aufgetragen wird.
Korrekturinformation KORRINF
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT
DE102004044576B4
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP B05C 3/18 ; B05C 9/02 ; B05C 11/04 ; B05D 1/26 ; G03F 7/16 ; H01J 9/20 ; H01L 31/0216