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Document DE102013114718A1 (Pages: 15)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Vorrichtung zum Beschichten von planaren Substraten
71/73 Applicant/owner PA Leibniz-Institut für Neue Materialien gemeinnützige GmbH, 66123, Saarbrücken, DE
72 Inventor IN Beermann, Herbert, 66806, Ensdorf, DE ; Drumm, Robert, 66113, Saarbrücken, DE ; Jilavi, Mohammad Hossein, Dr., 66459, Kirkel, DE ; Schmitt, Karl Peter, Grosbliederstroff, FR ; Schäfer, Bruno, 66679, Losheim, DE ; Serwas, Dietmar, 66299, Friedrichsthal, DE ; de Oliveira, Peter William, Dr., 66111, Saarbrücken, DE
22/96 Application date AD Dec 20, 2013
21 Application number AN 102013114718
Country of application AC DE
Publication date PUB Jun 25, 2015
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM B05C 3/18 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC B05C 11/04
B05C 11/047
B05C 3/18
B05C 9/02
G03F 7/16
H01J 9/205
MCD main class MCM B05C 3/18 (2006.01)
MCD secondary class MCS
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschichtung von planaren Substraten, bei dem ein Beschichtungskopf mit einer Vertiefung relativ zu einem Substrat bewegt wird, so dass eine in der Vertiefung befindliche Beschichtungszusammensetzung auf das Substrat aufgetragen wird.
56 Cited documents identified in the search CT DE102004044576B4
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56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
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Citing documents Determine documents
Sequence listings
Search file IPC ICP B05C 11/04
B05C 3/18
B05C 9/02
B05D 1/26
G03F 7/16
H01J 9/20
H01L 31/0216