| 54 |
Titel |
TI |
[DE] Verfahren zur Herstellung von Nanostrukturen |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Leibniz-Institut für Neue Materialien gemeinnützige GmbH, 66123, Saarbrücken, DE
|
| 72 |
Erfinder |
IN |
Akkan, Cagri Kaan, 66121, Saarbrücken, DE
;
Aktas, Oral Cenk, Dr., 66123, Saarbrücken, DE
;
Lee, Juseok, 66121, Saarbrücken, DE
;
May, Alexander Udo, 66386, St. Ingbert, DE
|
| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
05.12.2012 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102012111807 |
|
Anmeldeland |
AC |
DE |
|
Veröffentlichungsdatum |
PUB |
05.06.2014 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
|
| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B82B 3/00
(2006.01)
|
| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B82Y 30/00
(2011.01)
H01L 21/44
(2006.01)
B82Y 40/00
(2011.01)
|
|
IPC-Zusatzklasse |
ICA |
|
|
IPC-Indexklasse |
ICI |
|
|
Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81C 2201/0143
B81C 2201/0149
B81C 1/00492
B81C 2201/0116
|
|
MCD-Hauptklasse |
MCM |
B82B 3/00
(2006.01)
|
|
MCD-Nebenklasse |
MCS |
B82Y 40/00
(2011.01)
B82Y 30/00
(2011.01)
H01L 21/44
(2006.01)
|
|
MCD-Zusatzklasse |
MCA |
|
| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur einfachen Herstellung von Nanostrukturen. Dies wird durch die strukturierte Bestrahlung eines beschichteten Substrats erreicht, welches eine Beschichtung mit einer Dicke von unter 500 nm aufweist. Durch strukturierte Bestrahlung kommt es zur Ausbildung von Nanostrukturen, welche auch von dem Substrat abgelöst werden können. |
|
Korrekturinformation |
KORRINF |
|
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE102006023940A1 
US000007655544B2
|
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
L. Li et al.: "Laser nano-manufacturing - State of the art and challenges", CIRP Annals - Manufacturing Technology 60, pp. 735-755 (2011) p 0;
L. Longstreth-Spoor et al.: "Nanostructure and microstructure of laser-interference-induced dynamic patterning of Co on Si", J. Phys. D: Appl. Phys. 39, pp. 5149-5159 (2006) p 0;
N. Shirato et al.: "Thickness dependent self limiting 1-D tin oxide nanowire arrays by nanosecond pulsed laser irradiation", Nanoscale 3, pp. 1090-1101 (2011) p 0;
R.A. Farrell et al.: "Self-assembled templates for the generation of arrays of 1-dimensional nanostructures: From molecules to devices", Journal of Colloid and Interface Science 349, pp. 449-472 (2010) p 0
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
|
|
Zitierende Dokumente |
|
Dokumente ermitteln
|
|
Sequenzprotokoll |
|
|
|
Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81C 1/00
;
B82B 3/00
;
B82Y 30/00
;
B82Y 40/00
;
H01L 21/283 NM
|
