Bibliografische Daten

Dokument DE102012111807A1 (Seiten: 22)

Bibliografische Daten Dokument DE102012111807A1 (Seiten: 22)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Verfahren zur Herstellung von Nanostrukturen
71/73 Anmelder/Inhaber PA Leibniz-Institut fr Neue Materialien gemeinntzige GmbH, 66123, Saarbrcken, DE
72 Erfinder IN Akkan, Cagri Kaan, 66121, Saarbrcken, DE ; Aktas, Oral Cenk, Dr., 66123, Saarbrcken, DE ; Lee, Juseok, 66121, Saarbrcken, DE ; May, Alexander Udo, 66386, St. Ingbert, DE
22/96 Anmeldedatum AD 05.12.2012
21 Anmeldenummer AN 102012111807
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 05.06.2014
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32
Priorität PRC
PRN
PRD


51 IPC-Hauptklasse ICM B82B 3/00 (2006.01)
51 IPC-Nebenklasse ICS B82Y 30/00 (2011.01)
H01L 21/44 (2006.01)
B82Y 40/00 (2011.01)
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B81C 2201/0143 B81C 2201/0143
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B81C 2201/0149 B81C 2201/0149
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B81C 1/00492 B81C 1/00492
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation B81C 2201/0116 B81C 2201/0116
MCD-Hauptklasse MCM B82B 3/00 (2006.01)
MCD-Nebenklasse MCS B82Y 40/00 (2011.01)
B82Y 30/00 (2011.01)
H01L 21/44 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB [DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur einfachen Herstellung von Nanostrukturen. Dies wird durch die strukturierte Bestrahlung eines beschichteten Substrats erreicht, welches eine Beschichtung mit einer Dicke von unter 500 nm aufweist. Durch strukturierte Bestrahlung kommt es zur Ausbildung von Nanostrukturen, welche auch von dem Substrat abgelst werden knnen.
Korrekturinformation KORRINF
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT
DE102006023940A1
US000007655544B2
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP L. Li et al.: "Laser nano-manufacturing - State of the art and challenges", CIRP Annals - Manufacturing Technology 60, pp. 735-755 (2011) p 0;
L. Longstreth-Spoor et al.: "Nanostructure and microstructure of laser-interference-induced dynamic patterning of Co on Si", J. Phys. D: Appl. Phys. 39, pp. 5149-5159 (2006) p 0;
N. Shirato et al.: "Thickness dependent self limiting 1-D tin oxide nanowire arrays by nanosecond pulsed laser irradiation", Nanoscale 3, pp. 1090-1101 (2011) p 0;
R.A. Farrell et al.: "Self-assembled templates for the generation of arrays of 1-dimensional nanostructures: From molecules to devices", Journal of Colloid and Interface Science 349, pp. 449-472 (2010) p 0
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP B81C 1/00 ; B82B 3/00 ; B82Y 30/00 ; B82Y 40/00 ; H01L 21/283 NM