Bibliografische Daten

Dokument DE102010052033A1 (Seiten: 28)

Bibliografische Daten Dokument DE102010052033A1 (Seiten: 28)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Verfahren zur Herstellung von metallischen Strukturen
71/73 Anmelder/Inhaber PA Leibniz-Institut fr Neue Materialien gemeinntzige GmbH, 66123, Saarbrcken, DE
72 Erfinder IN Arzt, Eduard, Prof. Dr., 66123, Saarbrcken, DE ; Moh, Karsten, Dipl.-Phys., 66125, Saarbrcken, DE ; Oliveira, Peter William de, Dr., 66111, Saarbrcken, DE
22/96 Anmeldedatum AD 23.11.2010
21 Anmeldenummer AN 102010052033
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 24.05.2012
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Priorität PRC
PRN
PRD


51 IPC-Hauptklasse ICM H01L 21/768 (2006.01)
51 IPC-Nebenklasse ICS B82B 3/00 (2006.01)
B81C 1/00 (2006.01)
H01L 23/482 (2006.01)
H05K 3/10 (2006.01)
H01L 23/498 (2006.01)
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation Y10T 428/31678 Y10T 428/31678
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C23C 18/08 C23C 18/08
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C23C 16/48 C23C 16/48
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation C23C 18/143 C23C 18/143
MCD-Hauptklasse MCM H01L 21/768 (2006.01)
MCD-Nebenklasse MCS B81C 1/00 (2006.01)
B82B 3/00 (2006.01)
H01L 23/498 (2006.01)
H01L 23/482 (2006.01)
H05K 3/10 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB [DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von metallischen Strukturen, bei dem eine Initiatorzusammensetzung umfassend eine photokatalytische Substanz auf ein Substrat aufgebracht wird. Auf diese Schicht wird eine Vorluferzusammensetzung, welche durch die photokatalytische Aktivitt der Nanostbe zu einem Metall reduziert werden kann, aufgebracht. Danach wird eine Strukturvorlage unter teilweiser Verdrngung der Vorluferzusammensetzung aufgebracht und danach das Substrat belichtet. Dadurch werden strukturierte metallische Strukturen erzeugt.
Korrekturinformation KORRINF
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT
US020090269510A1
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
US000005534312A
US020040026258A1
US020050023957A1
US020060144713A1
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP C. J. Brinker, G. W. Scherer: "Sol-Gel Science - The Physics and Chemistry of Sol-Gel-Processing", Academic Press, Boston, San Diego, New York, Sydney (1990) 1;
Jia, Huimin at al., Materials Research Bulletin, 2009, 44, 1312-1316, "Nonaqueous sol-gel synthesis and growth mechanism of single crystalline TiO2 nanorods with high photocatalytic activity" 1;
Noh, C.-, et al., Advances in Resist Technology and Processing XXII, Proceedings of SPIE, 2005, 5753, 879-886, "A novel patterning method of lowresistivity metals" 1;
Noh, C.-, et al., Chemistry Letters, 2005, 34(1), 82-83, "A novel patterning method of lowresistivity metals" 1;
Rmpp Chemie Lexikon, 9. Auflage 1
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP B81C 1/00 ; B82B 3/00 ; H01L 21/768 ; H01L 23/482 ; H05K 3/10