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Titel |
TI |
[DE] Kompositzusammensetzung für mikrostrukturierte Schichten |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Canon K.K., Tokio/Tokyo, JP
;
Leibniz-Institut für Neue Materialien gemeinnützige GmbH, 66123 Saarbrücken, DE
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Erfinder |
IN |
Becker-Willinger, Carsten, 66130 Saarbrücken, DE
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Hino, Etsuko, Tokyo, JP
;
Kalmes, Pamela, 66589 Merchweiler, DE
;
Noguchi, Mitsutoshi, Tokyo, JP
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Ohkuma, Norio, Tokyo, JP
;
Saito, Yoshikazu, Tokyo, JP
;
Veith, Michael, 66386 St. Ingbert, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
18.07.2006 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102006033280 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
24.01.2008 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
C08L 101/12
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
G03F 7/00
(2006.01)
C08L 101/02
(2006.01)
G03F 7/004
(2006.01)
H01L 21/02
(2006.01)
G03F 7/075
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
Y10T 428/31663
G03F 7/038
G03F 7/0757
G03F 7/0047
Y10T 428/24802
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
C08L 101/12
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
C08L 101/02
(2006.01)
G03F 7/00
(2006.01)
G03F 7/075
(2006.01)
G03F 7/004
(2006.01)
H01L 21/02
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung liefert eine Kompositzusammensetzung, umfassend ein kationisch polymerisierbares organisches Harz, einen kationischen Photoinitiator, ein Hydrolysat und/oder Kondensatz von mindestens einer hydrolysierbaren Silanverbindung und anorganische Nanopartikel. Die Kompositzusammensetzung eignet sich zur Herstellung von strukturierten Formkörpern und Substraten mit einer strukturierten Beschichtung, insbesondere durch Photolithographie. Die erhaltenen Mikromuster zeigen verbesserte Eigenschaften, wie hohe Formstabilität und einen ausgezeichneten Elastizitätsmodul. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
C08L 101/02
;
C08L 101/12
;
G03F 7/004
;
G03F 7/038
;
G03F 7/075
;
H01L 21/02
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