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Titel |
TI |
[DE] Stoffsensor
[EN] Planar gas sensor includes electrical resistance for heating and temperature measurement which simultaneously forms condenser electrode |
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Anmelder/Inhaber |
PA |
Dornier GmbH, 88039 Friedrichshafen, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Acker, Heinrich, 73269 Hochdorf, DE
;
Knezevic, Aleksandar, Dr., 73230 Kirchheim, DE
;
Moos, Ralf, Dr., 88048 Friedrichshafen, DE
;
Müller, Ralf, 88326 Aulendorf, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
25.08.2000 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
10041921 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
21.03.2002 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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IPC-Hauptklasse |
ICM |
G01N 27/22
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
G01R 27/26
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G01N 2027/222
G01N 27/226
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
G01N 27/22
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft einen Stoffsensor, insbesondere Gassensor, umfassend DOLLAR A - ein Substrat oder eine Trägerschicht, DOLLAR A - eine auf dem Substrat oder der Trägerschicht aufgebrachte Kondensatorstruktur mit zwei, auf unterschiedlichem Potential liegenden Elektroden, DOLLAR A - eine Sensorfunktionsschicht in Kontakt mit der Kondensatorstruktur, DOLLAR A - einen elektrischen Widerstand zur Temperaturmessung oder Sensorheizung. DOLLAR A Erfindungsgemäß bildet der elektrische Widerstand zur Temperaturmessung oder Sensorheizung zugleich eine der Elektroden der Kondensatorstruktur.
[EN] A sensor includes an electrical resistance for heating and temperature measurement, which simultaneously forms a condenser electrode An Independent claim is included for the production of the sensor, in which a closed, or already pre-structured electrically-conductive layer is applied using thick layer technology, as a condenser precursor. This is then structured photolithographically. Preferred Features: A single electrode of the condenser structure is formed by two others. These (44, 46) interdigitate. Between the interdigitating electrodes (IEs), a resistance (42) meanders, for temperature measurement and/or heating. The resistance includes a section (40) outside the condenser IEs. One or both IEs and/or a further electrode are used for heating and/or temperature measurement. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000003911812C2
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
G01N 27/22
G01R 27/26
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