Bibliografische Daten

Dokument DE000010031976A1 (Seiten: 16)

Bibliografische Daten Dokument DE000010031976A1 (Seiten: 16)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Hochtemperaturstoffsensor
71/73 Anmelder/Inhaber PA Dornier GmbH, 88039 Friedrichshafen, DE
72 Erfinder IN Birkhofer, Thomas, 88090 Immenstaad, DE ; Maunz, Werner, 88677 Markdorf, DE ; Moos, Ralf, Dr., 88048 Friedrichshafen, DE ; Mller, Ralf, 88326 Aulendorf, DE ; Mller, Willi, 88682 Salem, DE ; Plog, Carsten, Dr., 88677 Markdorf, DE
22/96 Anmeldedatum AD 30.06.2000
21 Anmeldenummer AN 10031976
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 17.01.2002
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32
Priorität PRC
PRN
PRD


51 IPC-Hauptklasse ICM G01N 27/22
51 IPC-Nebenklasse ICS G01N 27/16
G01R 27/02
G01R 27/26
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation G01N 27/226 G01N 27/226
Neues Fenster: Externer Link Gemeinsame Patentklassifikation G01N 2027/222 G01N 2027/222
MCD-Hauptklasse MCM
MCD-Nebenklasse MCS G01N 27/22 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB [DE] Die Erfindung betrifft eine Hochtemperaturstoffsensor, umfassend DOLLAR A - ein Substrat (4), DOLLAR A - eine Anordnung (6), um den Sensor auf Temperatur zu bringen und zu halten, DOLLAR A und DOLLAR A - eine schichtartige Kondensatorstruktur (38) mit Strukturgren kleiner als 50 mum, auf die eine Funktionsschicht (18) aufgebracht ist. DOLLAR A Erfindungsgem wurde die schichtartige Kondensatorstruktur (38) folgendermaen erzeugt: DOLLAR A - Aufbringen einer geschlossenen oder bereits vorstrukturierten elektrisch leitfhigen Schicht als Vorlufer der Kondensatorstruktur (38) mittels Dickschichttechnik, DOLLAR A - Strukturierung der elektrisch leitfhigen Schicht mittels photolithographischem Verfahren.
Korrekturinformation KORRINF
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT
DE000003932880A1
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP G01N 27/16 ; G01N 27/22 ; G01R 27/02 ; G01R 27/26