| 54 |
Title |
TI |
[DE] VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERFASSUNG VON SCHWINGUNGEN
[EN] DEVICE AND METHOD FOR DETECTING VIBRATIONS
[FR] DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DES VIBRATIONS |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
MEHNER JAN, DE
;
SCHAUFUSS JOERG, DE
;
SCHEIBNER DIRK, DE
;
SIEMENS AG, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
MEHNER JAN, DE
;
SCHAUFUSS JOERG, DE
;
SCHEIBNER DIRK, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
May 26, 2010 |
| 21 |
Application number |
AN |
2010003194 |
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Country of application |
AC |
EP |
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Publication date |
PUB |
Dec 1, 2011 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
B81B 3/00
(2006.01)
|
| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
G01P 15/125
(2006.01)
H02N 1/00
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
B81B 2201/0235
B81B 2203/0136
B81B 3/0021
B81B 3/0056
G01H 11/06
H02N 1/08
H02N 2/181
H02N 2/188
H10N 30/302
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MCD main class |
MCM |
B81B 3/00
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
G01P 15/125
(2006.01)
H02N 1/00
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst ein schwingfähiges Feder-Masse-System mit Elektrodenstrukturen an zumindest einer Seite des Feder-Masse-Systems, insbesondere mit einer Kammstruktur, das mechanische Schwingungen erfasst. Die Vorrichtung umfasst weiterhin eine Abdeckung, welche das schwingfähige Feder-Masse-System oder eine mit dem schwingfähigen Feder-Masse-System elektrisch verbundenen Elektrode zur Eigenfrequenzabstimmung partiell überdeckt. Das analoge erfindungsgemäße Verfahren zur Erfassung von mechanischen Schwingungen in einem schwingfähigen Feder-Masse- System mit zumindest einer Elektrodenstruktur (3) an zumindest einer Seite, insbesondere eine Kammstruktur, wobei eine Abdeckung, welche die schwingende Masse oder eine mit dem schwingfähiges Feder-Masse-System elektrisch verbundene Elektrode zur Eigenfrequenzabstimmung partiell überdeckt, verschoben (x) wird. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren anzugeben, welches ein Abstimmprinzip umfasst, das nur zur Einstellung der Eigen-/ Resonanzfrequenz Energie benötigt. Weiterhin soll eine Vorrichtung und ein Verfahren angegeben werden, die nach Einstellung der Frequenz im weiteren Betrieb ohne zusätzlichen Energiebedarf arbeitet.
[EN] The device according to the invention comprises a spring-mass system that is capable of vibration and has electrode structures on at least one side of the spring-mass system, in particular a comb structure that detects mechanical vibrations. The device further comprises a cover, which partially covers the spring-mass system capable of vibration or an electrode electrically connected to the spring-mass system capable of vibration for modulating the natural frequency. The analogous method according to the invention is used to detect mechanical vibrations in a spring-mass system that is capable of vibration and that has at least one electrode structure (3) on at least one side, in particular a comb structure, a cover that partially covers the vibrating mass or an electrode electrically connected to the spring-mass system capable of vibration for adjusting the natural frequency being moved (x). The aim of the invention is to specify a device and method having a modulating principle that requires energy only to adjust the natural/resonance frequency. Furthermore, a device and method should be specified that operate without additional energy requirements after the frequency has been adjusted.
[FR] Le dispositif selon l'invention comprend un système ressort/masse apte à vibrer avec des structures d'électrodes sur au moins un côté du système ressort/masse, en particulier avec une structure en peigne, qui détecte les vibrations mécaniques. Le dispositif comprend également un élément de recouvrement qui recouvre partiellement le système ressort/masse apte à vibrer ou une électrode reliée électriquement au système ressort/masse apte à vibrer pour syntoniser la fréquence de résonance. Le procédé analogue selon l'invention sert à détecter les vibrations mécaniques dans un système ressort/masse apte à vibrer comportant au moins une structure d'électrode (3) sur au moins un côté, en particulier une structure en peigne. Selon ce procédé, on déplace (x) un élément de recouvrement qui recouvre partiellement le système apte à vibrer ou une électrode reliée électriquement au système ressort/masse apte à vibrer pour syntoniser la fréquence de résonance. L'invention vise à indiquer un dispositif et un procédé comprenant un principe de syntonisation qui nécessite de l'énergie uniquement pour régler la fréquence propre ou fréquence de résonance. Le but de l'invention est également de proposer un dispositif et un procédé qui, après le réglage de la fréquence, continuent à travailler sans énergie supplémentaire. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
DE000019808549A1
DE102005050351A1
US020040207369A1
US020070214890A1
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
SCHEIBNER ET AL: "A Frequency Selective Silicon Vibration Sensor with Direct Electrostatic Stiffness Modulation", ANALOG INTEGRATED CIRCUITS AND SIGNAL PROCESSING, KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS, BO, vol. 37, 1 January 2003 (2003-01-01), pages 35 - 43, XP009137896, ISSN: 1573-1979 7;
STERKEN T ET AL: "An electret-based electrostatic /spl mu/-generator", TRANSDUCERS, SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS, 12TH INN ATIONAL CONFERENCE ON, 2003, PISCATAWAY, NJ, USA,IEEE, vol. 2, 9 June 2003 (2003-06-09), pages 1291 - 1294, XP010647587, ISBN: 978-0-7803-7731-8 7;
WU X ET AL: "A frequency adjustable vibration energy harvester", PROCEEDINGS OF POWER MEMS 2008 +MICROMEMS 2008,, 1 January 2008 (2008-01-01), pages 245 - 248, XP009137898 7
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Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
SCHEIBNER, D.: "A Frequency Selective Silicon Vibration Sensor with Direct Electrostatic Stiffness Modulation", ANALOG INTEGRATED CIRCUITS AND SIGNAL PROCESSING, vol. 37, 2003, pages 35 - 43 1;
STERKEN, T.; FIORINI, P.; BAERT, K.; PUERS, R.; BORGHS, G.: "An elektret based electrostatic g-generator.", PROC. TRANSDUCERS '03, 2003, pages 1291 - 1294 1;
WU, X.; LIN, J.; KATO, S.; ZHAN, K.; REN, T.; LIU, L.: "A frequency adjustable vibration energy harvester.", PROCEEDINGS OF POWERMEMS 2008 + MICROEMS2008, 2008, pages 245 - 248 1
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
B81B 3/00
G01P 15/125
H02N 1/00
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