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Title |
TI |
[DE] MIKROELEKTROMECHANISCHER SENSOR MIT DIFFERENTIALKONDENSATORPRINZIP
[EN] MICROELECTROMECHANICAL SENSOR WITH A DIFFERENTIAL CAPACITOR PRINCIPLE
[FR] CAPTEUR MICROÉLECTROMÉCANIQUE À PRINCIPE DE CONDENSATEUR DIFFÉRENTIEL |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
DIENEL MARCO, DE
;
MEHNER JAN, DE
;
SCHAUFUSS JOERG, DE
;
SCHEIBNER DIRK, DE
;
SIEMENS AG, DE
|
| 72 |
Inventor |
IN |
DIENEL MARCO, DE
;
MEHNER JAN, DE
;
SCHAUFUSS JOERG, DE
;
SCHEIBNER DIRK, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Oct 5, 2009 |
| 21 |
Application number |
AN |
2009062887 |
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Country of application |
AC |
EP |
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Publication date |
PUB |
Apr 14, 2011 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
G01P 15/08
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
B81B 3/00
(2006.01)
G01C 19/56
(2006.01)
G01P 15/125
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
B81B 2201/0235
B81B 2201/038
B81B 3/0056
G01C 19/5783
G01P 15/0802
G01P 15/125
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MCD main class |
MCM |
G01P 15/08
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
B81B 3/00
(2006.01)
G01C 19/5783
(2012.01)
G01P 15/125
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Erfindungsgemäß wird ein mikroelektromechanischer Sensor (3) mit Differentialkondensatorprinzip vorgeschlagen, der einen Kondensator mit einer beweglichen Elektrode (4) und mit mindestens einer feststehenden Elektrode (5) aufweist. Dabei sind die bewegliche Elektrode (4) und die feststehende Elektrode (5) zumindest in einem Teilbereich als ebene Flächen ausgebildet, die parallel zueinander angeordnet sind, d.h. zwischen denen ein Spalt besteht. Mit der beweglichen Elektrode (4) sind erste Mittel (7) zur Spaltreduzierung in einer Justierrichtung (y) verbunden, wobei die Justierrichtung (y) einen zu den ebenen Flächen der Elektroden (4, 5) wesentlich von 90° abweichenden Winkel aufweist. Die Finger der kammförmigen Elektroden sind schräg in Bezug auf die Bewegungsrichtung der Elektroden und auf die Bewegungsrichtung der Justiermittel ausgerichtet.
[EN] The invention proposes a microelectromechanical sensor (3) with a differential capacitor principle, which sensor has a capacitor with a moving electrode (4) and with at least one stationary electrode (5). In this case, the moving electrode (4) and the stationary electrode (5) are in the form of flat surfaces at least in a subregion, said flat surfaces being arranged parallel to one another, that is to say there being a gap between them. First means (7) for reducing the gap in an adjustment direction (y) are connected to the moving electrode (4), wherein the adjustment direction (y) has an angle which differs substantially by 90° from the flat surfaces of the electrodes (4, 5). The fingers of the comb-like electrodes are oriented obliquely in relation to the movement direction of the electrodes and to the movement direction of the adjustment means.
[FR] L'invention concerne un capteur microélectromécanique (3) à principe de condensateur différentiel qui présente un condensateur avec une électrode mobile (4) et au moins une électrode fixe (5). L'électrode mobile (4) et l'électrode fixe (5) sont conçues au moins dans une région partielle comme des surfaces planes qui sont disposées parallèlement entre elles, c'est-à-dire qu'il y a une fente entre elles. Des premiers moyens (7) destinés à réduire la fente dans un sens d'ajustement (y) sont reliés à l'électrode mobile (4), le sens d'ajustement (y) présentant un angle s'écartant essentiellement de 90° par rapport aux surfaces planes des électrodes (4, 5). Les doigts des électrodes en forme de peigne sont orientés en oblique par rapport à la direction de déplacement des électrodes et à la direction de déplacement des moyens d'ajustement. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
EP000001819035A2
FR000002888394A1
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Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
CHANG HAN JE ET AL: "Sensing gap reconfigurable capacitive type MEMS accelerometer" PROCEEDINGS OF THE SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING USA, Bd. 6800, 21. Dezember 2007 (2007-12-21), Seiten 68001Z-1-68001Z-7, XP002588302 ISSN: 0277-786X 7
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Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
B81B 3/00
G01C 19/56
G01P 15/08
G01P 15/125
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