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Titel |
TI |
[DE] VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SPEKTROSKOPISCHEN ELLIPSOMETRIE, INSBESONDERE ZUR SPEKTROSKOPISCHEN INFRAROT-ELLIPSOMETRIE
[EN] AN APPARATUS AND A METHOD FOR SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY, IN PARTICULAR INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY
[FR] APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR UNE ELLIPSOMÉTRIE SPECTROSCOPIQUE, EN PARTICULIER UNE ELLIPSOMÉTRIE SPECTROSCOPIQUE À INFRAROUGE |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
UNIV STUTTGART, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
CLAUS DANIEL, DE
;
KÖRNER KLAUS, DE
;
OSTEN WOLFGANG, DE
;
RÖSELER ARNULF, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
26.11.2014 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
14003984 |
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Anmeldeland |
AC |
EP |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
14.02.2018 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G01N 21/21
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
G01B 9/02
(2006.01)
G01N 21/65
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G01B 9/02091
G01N 2021/212
G01N 2021/213
G01N 21/211
G01N 21/65
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
G01N 21/21
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
G01B 9/02
(2006.01)
G01N 21/65
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
US000005953477A
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
G01N 21/65
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