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Titel |
TI |
[DE] Halbleitersubstrat und Verfahren zur Herstellung [EN] Semiconductor substrate and method for the production thereof [FR] Substrat semi-conducteur et procédé de production correspondant |
71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
FRAUNHOFER GES FORSCHUNG, DE
;
KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV, NL
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72 |
Erfinder |
IN |
BERGMANN ANDREAS, DE
;
DORSCHEID RALF, DE
;
DRABE CHRISTIAN, DE
;
STEADMAN ROGER, DE
;
VOGTMEIER GEREON, DE
;
WOLTER ALEXANDER, DE
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22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
10.08.2006 |
21 |
Anmeldenummer |
AN |
06775875 |
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Anmeldeland |
AC |
EP |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
20.10.2010 |
33 31 32 |
Priorität |
PRC PRN PRD |
DE
102005039068
11.08.2005
|
33 31 32 |
PRC PRN PRD |
DE
2006001450
10.08.2006
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51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01L 21/768
(2006.01)
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51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H01L 23/48
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H01L 21/76898
H01L 2223/6622
H01L 23/481
H01L 2924/0002
H10F 39/811
H10F 77/933
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
H01L 21/768
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H01L 23/48
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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57 |
Zusammenfassung |
AB |
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56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, in Recherche ermittelt |
CT |
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56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, vom Anmelder genannt |
CT |
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56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, in Recherche ermittelt |
CTNP |
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56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
H01L 29/18
H01L 33/00
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