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Titel |
TI |
[DE] MIKROPLASMAARRAY
[EN] MICROPLASMA ARRAY
[FR] RESEAU A MICROPLASMA |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
GESCHE ROLAND, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
11.01.2006 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
06700748 |
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Anmeldeland |
AC |
EP |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
03.09.2008 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
102005002142
12.01.2005
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33
31
32 |
PRC
PRN
PRD |
EP
2006050157
11.01.2006
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01J 37/32
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H05H 1/24
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H01J 37/32082
H01J 37/32596
H01J 61/09
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
H01J 37/32
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H05H 1/24
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[EN] A microplasma array for the production of low-temperature plasmas at or near atmospheric pressures is described. The walls of holes made in a substrate at regular intervals with respect to one another form hollow electrodes and are coated with metal. The hollow electrodes are supplied individually or as a group from one side of the substrate with an electrical excitation in the GHz-region. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
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