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Titel |
TI |
[DE] Photochemische Methode für die Produktion von oberflächenverzierten Substraten im Nanometerbereich
[EN] Photochemical method for manufacturing nanometrically surface-decorated substrates
[FR] Méthode photochimique pour fabriquer des substrats surface-décorés à l'échelle nanométrique |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
DWI AN DER RWTH AACHEN E V, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
GORZOLNIK BLAZEJ, FR
;
MELA PETRA, DE
;
MOELLER PROF DR MARTIN, DE
;
OTT MARCELL, DE
;
SPATZ PROF DR JOACHIM, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
05.09.2005 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
05019237 |
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Anmeldeland |
AC |
EP |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
06.06.2012 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G03F 7/16
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
G03F 7/004
(2006.01)
G03F 7/033
(2006.01)
G03F 7/038
(2006.01)
H01L 21/30
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81C 1/00206
B81C 2201/0159
B82Y 30/00
G03F 7/0047
G03F 7/033
G03F 7/038
G03F 7/0384
G03F 7/0751
G03F 7/165
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
G03F 7/16
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
G03F 7/004
(2006.01)
G03F 7/033
(2006.01)
G03F 7/038
(2006.01)
H01L 21/30
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
G03F 7/00
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