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Titel |
TI |
[DE] VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG ODER ZUM STRUKTURIEREN EINER OBERFLÄCHENSCHICHT
[EN] METHOD FOR INVESTIGATING OR STRUCTURING A SURFACE LAYER
[FR] PROCEDE POUR EXAMINER OU STRUCTURER UNE COUCHE SUPERFICIELLE |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
MICRONAS GMBH, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
BAUMANN WERNER, DE
;
EHRET RALF, DE
;
GAHLE HANS-JUERGEN, DE
;
IGEL GUENTER, DE
;
LEHMANN MIRKO, DE
;
WOLF BERNHARD, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
25.11.1998 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
98962395 |
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Anmeldeland |
AC |
EP |
|
Veröffentlichungsdatum |
PUB |
09.01.2008 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
19753790
04.12.1997
|
33
31
32 |
PRC
PRN
PRD |
EP
9807597
25.11.1998
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G01N 13/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
G01N 21/75
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G01B 11/30
G01N 21/94
H01L 22/24
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
G01N 33/543
(2006.01)
G01N 13/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
G01B 11/30
(2006.01)
G01N 21/17
(2006.01)
G01N 21/45
(2006.01)
G01N 21/75
(2006.01)
G01N 21/84
(2006.01)
G01N 21/94
(2006.01)
G01N 27/414
(2006.01)
G01N 27/416
(2006.01)
G01Q 60/00
(2010.01)
H01L 21/66
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
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