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Document DE112006003854B4 (Pages: 11)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Torsionsfederelement für die Aufhängung auslenkbarer mikromechanischer Elemente
71/73 Applicant/owner PA Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
72 Inventor IN Drabe, Christian, 01099, Dresden, DE ; Klose, Thomas, 01109, Dresden, DE ; Wolter, Alexander, Dr. Ing., 01156, Dresden, DE
22/96 Application date AD Apr 24, 2006
21 Application number AN 112006003854
Country of application AC DE
Publication date PUB Sep 8, 2011
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD		 DE
2006000746
20060424
51 IPC main class ICM B81B 3/00 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC B81B 2201/042
B81B 2203/0109
B81B 3/0078
MCD main class MCM B81B 3/00 (2006.01)
MCD secondary class MCS
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Torsionsfederelement mit nicht linearer Federkennlinie für die Aufhängung auslenkbarer mikromechanischer Elemente, das an einer Aufhängung gehalten und mit einem mikromechanischen Element verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein mit einer Gabelung/Verzweigung verbundener Bereich durch einen sich verändernden Querschnitt ein sich in Längsachsrichtung veränderndes Widerstandsmoment aufweist und eine Gabelung/Verzweigung v- oder u-förmig ausgebildet ist.
56 Cited documents identified in the search CT DE000019941045A1
EP000000754958A2
US020050036196A1
US020050046504A1
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP J.D. Grade et al., "Design of large deflection electrostatic actuators", Microelectrome-chanical Systems, Journal of, Vol. 12, No. 3, June 2003, S. 335-343 p 0;
Veljko Milanovic et al., "Torsional Micromirrors with Lateral Actuators", Transducers 01, München, Germany, Jun 2001 p 0;
Zhixiong Xiao et al., "Analytical Behavior of Rectangular Electrostatic Torsion Actuators With Nonlinear Spring Bending", Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 12, No. 6, Dec. 2003, pp 929-936 p 0
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP
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Search file IPC ICP B81B 3/00