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Titel |
TI |
[DE] Verfahren zum Betreiben eines oszillierend auslenkbaren mikromechanischen Elements |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Drabe, Christian, 01099, Dresden, DE
;
Klose, Thomas, 01109, Dresden, DE
;
Sandner, Thilo, Dr., 01156, Dresden, DE
;
Schenk, Harald, Dr., 01139, Dresden, DE
;
Wolter, Alexander, Dr., 01156, Dresden, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
24.04.2006 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
112006003849 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
20.09.2012 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
2006000745
20060424
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B81B 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H03B 5/30
(2012.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81B 2201/042
B81B 2203/0109
B81B 3/0078
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B81B 3/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H03B 5/30
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Verfahren zum Betreiben eines oszillierend auslenkbaren mikromechanischen Elements, das mit mindestens einem Federelement gehalten ist und mittels einer elektrischen Wechselspannung zwischen zwei Umkehrpunkten ausgelenkt wird, wobei das/die Federelement(e) eine nicht lineare Federkennlinie aufweist/aufweisen und sich so eine in Abhängigkeit der jeweiligen Auslenkung verändernde mechanische Resonanzfrequenz ergibt; wobei die Auslenkung des Elementes bei Einhaltung von Resonanzbedingungen, unter Berücksichtigung der sich in Abhängigkeit der von der jeweiligen Auslenkung verändernden mechanischen Resonanzfrequenz durchgeführt wird, wobei eine degressive Nichtlinearität zumindest in einem Bereich der jeweiligen Auslenkung vorhanden ist, wodurch eine Frequenz für den Antrieb der Auslenkung gezielt eingestellt werden kann, die zur Resonanzfrequenz führt wobei dies bei mehreren Frequenzen und dann bei jeweils entsprechender Auslenkung erreicht werden kann. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000001800588A
DE000010320725A1
DE000060002121T2
DE000069432074T2
EP000000754958A2
US020020166368A1
US020030127785A1
WO002003073597A1
WO002005029107A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
Jian Ping Zhao et al.; "A study of dynamic characteristics and simulation of MEMS torsional micromirrors"; Sensors and Actuators A 120, 2005, S. 199 - 210 p 0;
M. H. Miller et al.; "Simple models for piston-type micromirror behavior"; J. Micromech. Microeng. 16, 2006, S. 303-313 p 0;
Thomas Braun et al.; "Micromechanical mass sensors for biomolecular detection in a physiological environment"; PHYSICAL REVIEW E 72, 031907, 2005, S. 1 - 9 p 0;
Trey A. Roessig et al.; "Surface-Micromachined Resonant Accelerometer"; TRANSDUCERS '07, 1997 international Conference on Solid-state Sensors and Actuators, Chicago, June 16-19, 1997, S. 859 - 862 p 0;
Y. Martin et al.; "Atomic force microscope-force mapping and profiling on a sub 100-A scale"; J. Appl. Phys, 61 (10), 15 May 1987, S. 4723 - 4729 p 0
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 3/00
H03B 5/30
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