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Document DE102020211265A1 (Pages: 11)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Verfahren zur metallischen oder keramischen Beschichtung
71/73 Applicant/owner PA Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung, 70469, Stuttgart, DE
72 Inventor IN Hofmann, Patrick, 71665, Vaihingen, DE ; Tiedemann, Dominik, 70197, Stuttgart, DE
22/96 Application date AD Sep 8, 2020
21 Application number AN 102020211265
Country of application AC DE
Publication date PUB Mar 10, 2022
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM C23C 16/54 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS C23C 16/452 (2006.01)
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC C23C 16/503
C23C 16/54
H01J 37/32403
H01J 37/32596
MCD main class MCM C23C 16/54 (2006.01)
MCD secondary class MCS C23C 16/452 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur metallischen oder keramischen Beschichtung magnetischer oder nicht-magnetischer zu beschichtender diskreter Körper (10) oder zu beschichtender kontinuierlicher Körper (54), wobei zumindest nachfolgende Verfahrensschritte durchlaufen werden: Es erfolgt eine Zuführung von und Förderung zu beschichtender diskreter Körper (10) oder zu beschichtender kontinuierlicher Körper (54) durch eine Hohlkathode (18). Dieser wird ein Arbeitsgas oder ein Reaktivgas aus einem Gasreservoir (72) zugeführt. Die Hohlkathode (18) ist mit einer hochfrequenten Spannung eines Hochfrequenzgenerators (20) beaufschlagt, wodurch ein Plasma (22) erzeugt wird. Durch das Plasma (22) erfolgen eine Ionisation und Aufspaltung des Arbeitsgases oder Reaktivgases zur chemischen Gasphasenabscheidung und/oder eine Erzeugung einer physikalischen Gasphasenabscheidung durch Ionen des Plasmas (22). Dadurch wird auf den in Förderrichtung (48) durch das Plasma (22) im Kathodenraum (24) beförderten diskreten Körpern (10) oder den kontinuierlichen Körpern (54) mindestens eine ganzheitliche Schicht (16) erzeugt. Darüber hinaus bezieht sich die Erfindung auf ein In-Line-Beschichtungssystem (34) und auf die Verwendung des Verfahrens zur ganzheitlichen Beschichtung.
56 Cited documents identified in the search CT DE000019722056A1
US000005228963A
US000006176982B1
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
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