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Titel |
TI |
[DE] VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN ZUM AKUSTISCHEN TESTEN VON MEMS BAUELEMENTEN |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein, 80686, München, DE
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Erfinder |
IN |
Clauß, Tobias, 98693, Ilmenau, DE
;
Fiedler, Matthias, 98693, Ilmenau, DE
;
Fritsch, Tobias, 98693, Ilmenau, DE
;
Fritzsche, Paul, 98693, Ilmenau, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
30.01.2020 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102020201124 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
06.05.2021 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G01M 7/02
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81B 7/02
(2006.01)
G01H 1/00
(2006.01)
G01M 13/028
(2019.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81B 2201/0257
B81C 99/004
B81C 99/0045
G01R 31/2881
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
G01M 7/02
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81B 7/02
(2006.01)
G01H 1/00
(2006.01)
G01M 13/028
(2019.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Ausführungsbeispiele schaffen ein Verfahren zum akustischen Testen von zumindest einem MEMS Bauelement einer Mehrzahl von MEMS Bauelementen. Das Verfahren umfasst einen Schritt des Bereitstellens zumindest eines MEMS Bauelements. Ferner umfasst das Verfahren einen Schritt des Anregens des zumindest einen MEMS Bauelements zu einer akustischen Schwingung. Ferner umfasst das Verfahren einen Schritt des Erfassens der akustischen Schwingung des zumindest einen MEMS Bauelements mit zumindest einem Schallsensor. Ferner umfasst das Verfahren einen Schritt des Auswertens der mit dem zumindest einen Schallsensor erfassten akustischen Schwingung des zumindest einen MEMS Bauelements, um das zumindest eine MEMS Bauelement auf eine Soll-Funktionsfähigkeit hin zu testen. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE102008015916A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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keine Treffer
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 7/02
B81C 99/00
G01H 1/00
G01M 13/028
G01M 7/02
G01N 29/04
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