| 54 |
Title |
TI |
[DE] OPTISCHES SYSTEM UND LITHOGRAPHIEANLAGE |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Carl Zeiss SMT GmbH, 73447, Oberkochen, DE
|
| 72 |
Inventor |
IN |
Erath, Michael, 89165, Dietenheim, DE
;
Gaida, Philipp, 73430, Aalen, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Nov 26, 2019 |
| 21 |
Application number |
AN |
102019218280 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Jan 16, 2020 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
G02B 7/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
G02B 26/10
(2006.01)
G02B 7/198
(2006.01)
G03F 7/20
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
G02B 7/00
G02B 7/1828
G02B 7/198
G03F 7/70258
G03F 7/70825
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MCD main class |
MCM |
G02B 7/00
(2006.01)
|
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MCD secondary class |
MCS |
G02B 26/10
(2006.01)
G02B 7/198
(2006.01)
G03F 7/20
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Ein optisches System (200) für eine Lithographieanlage (100A, 100B), aufweisend ein optisches Element (202), ein Gehäuse (214), ein zumindest abschnittsweise in dem Gehäuse (214) aufgenommenes und gegenüber dem Gehäuse (214) entlang einer Hochrichtung (z) linear verlagerbares Stellglied (218) zum Justieren des optischen Elements (202), einer Geradführung (300), die das Stellglied (218) mit dem Gehäuse (214) verbindet, wobei die Geradführung (300) in der Hochrichtung (z) biegeweich und in zwei von der Hochrichtung (z) abweichenden weiteren Raumrichtungen (x, y) biegesteif ist, so dass die Geradführung (300) das Stellglied (218) bei einem Verlagern desselben gegenüber dem Gehäuse (214) entlang der Hochrichtung (z) linear führt, und zumindest einem an der Geradführung (300) vorgesehenen Dämpfungselement (318, 320, 322, 332, 338, 344) zum Dämpfen der Geradführung (300). |
| 56 |
Cited documents identified in the search |
CT |
DE102009005954A1
DE102011088735A1
DE102015224934A1
DE102019204856A1
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
WO002012110406A1
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
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