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Titel |
TI |
[DE] OPTISCHES SYSTEM UND LITHOGRAPHIEANLAGE |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Carl Zeiss SMT GmbH, 73447, Oberkochen, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Erath, Michael, 89165, Dietenheim, DE
;
Gaida, Philipp, 73430, Aalen, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
26.11.2019 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102019218280 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
16.01.2020 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G02B 7/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
G02B 26/10
(2006.01)
G02B 7/198
(2006.01)
G03F 7/20
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G02B 7/00
G02B 7/1828
G02B 7/198
G03F 7/70258
G03F 7/70825
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
G02B 7/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
G02B 26/10
(2006.01)
G02B 7/198
(2006.01)
G03F 7/20
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Ein optisches System (200) für eine Lithographieanlage (100A, 100B), aufweisend ein optisches Element (202), ein Gehäuse (214), ein zumindest abschnittsweise in dem Gehäuse (214) aufgenommenes und gegenüber dem Gehäuse (214) entlang einer Hochrichtung (z) linear verlagerbares Stellglied (218) zum Justieren des optischen Elements (202), einer Geradführung (300), die das Stellglied (218) mit dem Gehäuse (214) verbindet, wobei die Geradführung (300) in der Hochrichtung (z) biegeweich und in zwei von der Hochrichtung (z) abweichenden weiteren Raumrichtungen (x, y) biegesteif ist, so dass die Geradführung (300) das Stellglied (218) bei einem Verlagern desselben gegenüber dem Gehäuse (214) entlang der Hochrichtung (z) linear führt, und zumindest einem an der Geradführung (300) vorgesehenen Dämpfungselement (318, 320, 322, 332, 338, 344) zum Dämpfen der Geradführung (300). |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE102009005954A1
DE102011088735A1
DE102015224934A1
DE102019204856A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
WO002012110406A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
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