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Title |
TI |
[DE] VERFAHREN ZUM ERWÄRMEN EINER VIELZAHL VON ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN STRUKTUREN SOWIE VORRICHTUNG ZUR VERWENDUNG IN DEM VERFAHREN |
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Applicant/owner |
PA |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
;
Technische Universität Chemnitz, 09111, Chemnitz, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Fröhlich, Alexander, 09111, Chemnitz, DE
;
Hofmann, Christian, 09126, Chemnitz, DE
;
Kimme, Jonas, 09111, Chemnitz, DE
;
Kroll, Martin, 09111, Chemnitz, DE
;
Kräusel, Verena, Dr., 09111, Chemnitz, DE
;
Landgrebe, Dirk, Prof. Dr., 09111, Chemnitz, DE
;
Otto, Thomas, Prof. Dr., 09126, Chemnitz, DE
;
Wünsch, Dirk, 09126, Chemnitz, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Apr 30, 2019 |
| 21 |
Application number |
AN |
102019206248 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Nov 14, 2019 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
DE
102018207325
20180509
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
H01L 21/30
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
B23K 1/002
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
B81C 1/00269
H05B 6/10
H05B 6/40
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MCD main class |
MCM |
H01L 21/30
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
B23K 1/002
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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Abstract |
AB |
[DE] Verfahren zum Erwärmen einer Vielzahl von elektrisch leitfähigen Strukturen (2, 4), welche auf einem elektrisch nicht-leitfähigen ersten Substrat (1) angeordnet sind, umfassend die Schritte:- Bereitstellen eines ersten Induktors (6) mit einer Vielzahl von nebeneinander angeordneten Induktorelementen (30), wobei jedes Induktorelement mindestens einen ersten Verbindungsabschnitt (31) und mindestens zwei Schenkel (32) aufweist, wobei der erste Verbindungsabschnitt (31) die beiden Schenkel (32) des Induktorelements (30) miteinander verbindet, und wobei die Induktorelemente (30) miteinander durch zweite Verbindungsabschnitte (33) in Serie verbunden sind,- Anordnen des ersten Induktors (6) oberhalb oder unterhalb des ersten Substrats (1), derart, dasso jedes Induktorelement (30) jeweils zumindest bereichsweise mit einem Rand (5) mindestens einer elektrisch leitfähigen Struktur (2, 4) überlappt und/odero jedes Induktorelement zumindest bereichsweise parallel zu dem Rand (5) der elektrisch leitfähigen Struktur (2, 4) verläuft,- Beaufschlagen des ersten Induktors (6) mit einem Wechselstrom oder Anlegen einer Wechselspannung an den ersten Induktor (6) und- Induzieren von Wirbelströmen in den elektrisch leitfähigen Strukturen (2, 4). |
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Cited documents identified in the search |
CT |
JP002004353035A
US000007064004B2
US020080023530A1
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
B81C 1/00
H01L 21/30
H05B 6/10
H05B 6/40
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