| 54 |
Titel |
TI |
[DE] VERFAHREN ZUM ERWÄRMEN EINER VIELZAHL VON ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN STRUKTUREN SOWIE VORRICHTUNG ZUR VERWENDUNG IN DEM VERFAHREN |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
;
Technische Universität Chemnitz, 09111, Chemnitz, DE
|
| 72 |
Erfinder |
IN |
Fröhlich, Alexander, 09111, Chemnitz, DE
;
Hofmann, Christian, 09126, Chemnitz, DE
;
Kimme, Jonas, 09111, Chemnitz, DE
;
Kroll, Martin, 09111, Chemnitz, DE
;
Kräusel, Verena, Dr., 09111, Chemnitz, DE
;
Landgrebe, Dirk, Prof. Dr., 09111, Chemnitz, DE
;
Otto, Thomas, Prof. Dr., 09126, Chemnitz, DE
;
Wünsch, Dirk, 09126, Chemnitz, DE
|
| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
30.04.2019 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102019206248 |
|
Anmeldeland |
AC |
DE |
|
Veröffentlichungsdatum |
PUB |
14.11.2019 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
102018207325
20180509
|
| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01L 21/30
(2006.01)
|
| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B23K 1/002
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
|
|
IPC-Zusatzklasse |
ICA |
|
|
IPC-Indexklasse |
ICI |
|
|
Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81C 1/00269
H05B 6/10
H05B 6/40
|
|
MCD-Hauptklasse |
MCM |
H01L 21/30
(2006.01)
|
|
MCD-Nebenklasse |
MCS |
B23K 1/002
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
|
|
MCD-Zusatzklasse |
MCA |
|
| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Verfahren zum Erwärmen einer Vielzahl von elektrisch leitfähigen Strukturen (2, 4), welche auf einem elektrisch nicht-leitfähigen ersten Substrat (1) angeordnet sind, umfassend die Schritte:- Bereitstellen eines ersten Induktors (6) mit einer Vielzahl von nebeneinander angeordneten Induktorelementen (30), wobei jedes Induktorelement mindestens einen ersten Verbindungsabschnitt (31) und mindestens zwei Schenkel (32) aufweist, wobei der erste Verbindungsabschnitt (31) die beiden Schenkel (32) des Induktorelements (30) miteinander verbindet, und wobei die Induktorelemente (30) miteinander durch zweite Verbindungsabschnitte (33) in Serie verbunden sind,- Anordnen des ersten Induktors (6) oberhalb oder unterhalb des ersten Substrats (1), derart, dasso jedes Induktorelement (30) jeweils zumindest bereichsweise mit einem Rand (5) mindestens einer elektrisch leitfähigen Struktur (2, 4) überlappt und/odero jedes Induktorelement zumindest bereichsweise parallel zu dem Rand (5) der elektrisch leitfähigen Struktur (2, 4) verläuft,- Beaufschlagen des ersten Induktors (6) mit einem Wechselstrom oder Anlegen einer Wechselspannung an den ersten Induktor (6) und- Induzieren von Wirbelströmen in den elektrisch leitfähigen Strukturen (2, 4). |
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
JP002004353035A
US000007064004B2
US020080023530A1
|
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
|
|
Zitierende Dokumente |
|
Dokumente ermitteln
|
|
Sequenzprotokoll |
|
|
|
Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81C 1/00
H01L 21/30
H05B 6/10
H05B 6/40
|
