Bibliographic data

Document DE102019202658B3 (Pages: 22)

Bibliographic data Document DE102019202658B3 (Pages: 22)
INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Mikromechanische Struktur und Verfahren zum Bereitstellen derselben
71/73 Applicant/owner PA Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
72 Inventor IN Drabe, Christian, 01109, Dresden, DE ; Kaiser, Bert, 01109, Dresden, DE
22/96 Application date AD Feb 27, 2019
21 Application number AN 102019202658
Country of application AC DE
Publication date PUB Jun 4, 2020
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM B81B 3/00 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS B81B 7/02 (2006.01)
B81C 1/00 (2006.01)
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC B81B 2201/033
B81B 2201/042
B81B 2203/0154
B81B 2203/058
B81B 3/0048
MCD main class MCM B81B 3/00 (2006.01)
MCD secondary class MCS B81B 7/02 (2006.01)
B81C 1/00 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Eine mikromechanische Struktur umfasst ein erstes mikromechanisches Element und ein zweites mikromechanisches Element sowie eine Torsionsfederanordnung umfassend ein erstes, eine erste Mittellinie aufweisende Torsionsfederelemente, das an einem ersten Kontaktbereich mit dem ersten mikromechanischen Element und an einem zweiten Kontaktbereich mit dem zweiten mikromechanischen Element mechanisch verbunden ist, und umfassend ein zweites, eine zweite Mittellinie aufweisendes Torsionsfederelement, das an einem dritten Kontaktbereich mit dem ersten mikromechanischen Element und an einem vierten Kontaktbereich mit dem zweiten mikromechanischen Element mechanisch verbunden ist, um das erste mikromechanische Element und das zweite mikromechanische Element relativ zueinander beweglich zu verbinden. Ein Abstand zwischen der ersten Mittellinie und der zweiten Mittellinie ist ausgehend von dem ersten und dritten Kontaktbereich hin zu dem zweiten und vierten Kontaktbereich in einem ersten Abschnitt abnehmend und ist in einem zweiten Abschnitt zunehmend. Das erste Torsionsfederelement und das zweite Torsionsfederelement sind in einer Ruhelage der mikromechanischen Struktur berührungsfrei zueinander angeordnet.
56 Cited documents identified in the search CT DE102013209234A1
US020030053186A1
US020060125347A1
US020080151345A1
US020140300942A1
56 Cited documents indicated by the applicant CT EP000001123526B1
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP
Citing documents Determine documents
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Search file IPC ICP B81B 3/00
B81B 7/02
B81C 1/00