| 72 |
Inventor |
IN |
Basler, Thomas, 85570, Ottenhofen, DE
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Fuergut, Edward, 86453, Dasing, DE
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Gruber, Martin, 92421, Schwandorf, DE
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Hilsenbeck, Jochen, Dr., Villach, AT
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Joshi, Ravi Keshav, Klagenfurt, AT
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Peters, Dethard, 91315, Höchstadt, DE
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Rupp, Roland, 91207, Lauf, DE
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Scholz, Wolfgang, 82140, Olching, DE
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Siemieniec, Ralf, Villach, AT
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Ein Siliziumkarbid-Bauelement umfasst ein Siliziumkarbid-Substrat, eine Kontaktschicht, die Nickel, Silizium und Aluminium umfasst, eine Barriereschichtstruktur, die Titan und Wolfram umfasst, eine Metallisierungsschicht, die Kupfer umfasst. Die Kontaktschicht befindet sich auf dem Siliziumkarbid-Substrat. Die Kontaktschicht befindet sich zwischen dem Siliziumkarbid-Substrat und zumindest einem Teil der Barriereschichtstruktur. Die Barriereschichtstruktur befindet sich zwischen dem Siliziumkarbid-Substrat und der Metallisierungsschicht. |
