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Titel |
TI |
[DE] Verfahren zum Prüfen und/oder Überwachen einer Elektrodenanordnung zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
terraplasma GmbH, 85748, Garching, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Binder, Sylvia, 85560, Ebersberg, DE
;
Cantzler, Maximilian, 85560, Ebersberg, DE
;
Morfill, Gregor, Prof. Dr. Dr. h.c., 81927, München, DE
;
Weilemann, Hannes, 81925, München, DE
;
Zimmermann, Julia, Dr., 81925, München, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
15.06.2018 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102018209729 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
19.12.2019 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G01R 31/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H05H 1/46
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H05H 1/0006
H05H 1/0037
H05H 1/2439
H05H 2240/20
H05H 2242/00
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
G01R 31/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H05H 1/46
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Prüfen und/oder Überwachen einer Elektrodenanordnung (1) zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas, mit folgenden Schritten:- Bestimmen von wenigstens einem eine Plasma-Leistung der Elektrodenanordnung (1) charakterisierenden Leistungs-Parameter;a) zeitliches Erfassen des wenigstens einen Leistungs-Parameters; und/oderb) - Vergleichen des wenigstens einen Leistungs-Parameters mit wenigstens einem vorbestimmten Soll-Parameterwert, und Erhalten eines Vergleichsergebnisses;- Beurteilen einer Funktion oder Funktionsfähigkeit der Elektrodenanordnung (1) anhand des Vergleichsergebnisses, und vorzugsweise- Auswählen von wenigstens einer Aktion in Abhängigkeit von dem Vergleichsergebnis. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000000821365B
DE000001408846U
EP000001243277B1
EP000002051741B1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
G01R 31/00
H05H 1/46
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