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Titel |
TI |
[DE] SCHWINGUNGSDÄMPFER, ANORDNUNG, LITHOGRAPIEANLAGE, PRÜFTURM UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SCHWINGUGSDÄMPFERS |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Carl Zeiss SMT GmbH, 73447, Oberkochen, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Gaida, Philipp, 73447, Oberkochen, DE
;
Holle, Ansgar, 89518, Heidenheim, DE
;
Troeger, Stefan, 89073, Ulm, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
09.05.2018 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102018207273 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
19.07.2018 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
F16F 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
F16F 15/08
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
F16F 3/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Schwingungsdämpfer (134) zum Dämpfen von Schwingungen einer zu bedämpfenden Einrichtung (302) eines optischen Systems (100A, 100B, 200), insbesondere einer Lithographieanlage (100A, 100B) oder eines Prüfturms (200) für optische Elemente (202), aufweisend ein erstes Dämpfelement (304), und ein zweites Dämpfelement (306), welches zu dem ersten Dämpfelement (304) mechanisch parallel geschaltet ist, wobei sich ein Dämpfungsgrad (&zgr;1) des ersten Dämpfelements (304) von einem Dämpfungsgrad (&zgr;2) des zweiten Dämpfelements (304) unterscheidet. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000003829235A1
DE102017200645A1
US000006327024B1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
F16F 3/00
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