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Title |
TI |
[DE] SCHWINGUNGSDÄMPFER, ANORDNUNG, LITHOGRAPIEANLAGE, PRÜFTURM UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SCHWINGUGSDÄMPFERS |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Carl Zeiss SMT GmbH, 73447, Oberkochen, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Gaida, Philipp, 73447, Oberkochen, DE
;
Holle, Ansgar, 89518, Heidenheim, DE
;
Troeger, Stefan, 89073, Ulm, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
May 9, 2018 |
| 21 |
Application number |
AN |
102018207273 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Jul 19, 2018 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
F16F 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
F16F 15/08
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MCD main class |
MCM |
F16F 3/00
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Schwingungsdämpfer (134) zum Dämpfen von Schwingungen einer zu bedämpfenden Einrichtung (302) eines optischen Systems (100A, 100B, 200), insbesondere einer Lithographieanlage (100A, 100B) oder eines Prüfturms (200) für optische Elemente (202), aufweisend ein erstes Dämpfelement (304), und ein zweites Dämpfelement (306), welches zu dem ersten Dämpfelement (304) mechanisch parallel geschaltet ist, wobei sich ein Dämpfungsgrad (&zgr;1) des ersten Dämpfelements (304) von einem Dämpfungsgrad (&zgr;2) des zweiten Dämpfelements (304) unterscheidet. |
| 56 |
Cited documents identified in the search |
CT |
DE000003829235A1
DE102017200645A1
US000006327024B1
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
F16F 3/00
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