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Title |
TI |
[DE] Verfahren zur Einstellung der Kristallitgröße bei pulverförmigen Beschichtungsmaterialien für die aerosolbasierte Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM) |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Exner, Jörg, Dipl.-Ing. , 95445, Bayreuth, DE
;
Glosse, Philipp, M.Sc., 95445, Bayreuth, DE
;
Hanft, Dominik, Dipl.-Ing. , 95447, Bayreuth, DE
;
Kita, Jaroslaw, Dr.-Ing., 95482, Gefrees, DE
;
Leupold, Nico, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof. Dr.-Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Nazarenus, Tobias, Dipl.-Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michael, Dipl.-Ing. , 95448, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michaela, M.Sc., 95478, Kemnath, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Exner, Jörg, Dipl.-Ing., 95445, Bayreuth, DE
;
Glosse, Philipp, M.Sc., 95445, Bayreuth, DE
;
Hanft, Dominik, Dipl.-Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Kita, Jaroslaw, Dr.-Ing., 95482, Gefrees, DE
;
Leupold, Nico, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof.Dr.-Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Nazarenus, Tobias, Dipl.-Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michael, Dipl.-Ing., 95448, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michaela, M.Sc., 95478, Kemnath, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Apr 21, 2018 |
| 21 |
Application number |
AN |
102018003289 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Oct 24, 2019 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
C23C 24/04
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
B05C 5/02
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
C23C 24/04
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MCD main class |
MCM |
C23C 24/04
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
B05C 5/02
(2006.01)
|
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Einstellung der Kristallitgröße in pulverförmigen Beschichtungsmaterialen für die aerosolbasierte Kaltabscheidung, dergestalt, dass unabhängig von der vorangegangenen Pulversynthese eine Schichtausbildung von dichten und gut haftenden Beschichtungen möglich ist.Durch den Einsatz der Erfindung kann annähernd jeder Werkstoff, welcher grundsätzlich für eine Abscheidung über die aerosolbasierte Kaltabscheidung geeignet ist, zu dichten Schichten verarbeitet werden. Hiermit kann der Fokus bei der Auswahl des kommerziell verfügbaren, pulverförmigen Beschichtungsmaterials auf die gewünschten Materialeigenschaften wie Dotierungsgehalt und Reinheit gelegt werden. Die keramischen Eigenschaften des Ausgangspulvers (Partikelgröße und -verteilung, spezifische Oberfläche und Kristallitgröße) sind hingegen aufgrund der Erfindung unbedeutend, da diese im Rahmen der Vorbehandlung gezielt für die aerosolbasierte Kaltabscheidung eingestellt werden. Dies vereinfacht die Suche und Auswahl des kommerziell verfügbaren, pulverförmigen Beschichtungsmaterials stark. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
EP000002428592A1
US000007553376B2
US000008137743B2
US020050107003A1
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
B05C 5/02
C23C 24/04
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