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Document DE102017004428B4 (Pages: 103)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Verfahren und Anordnung zur robusten, tiefenscannenden fokussierenden Streifen-Triangulation mit mehreren Wavelets
71/73 Applicant/owner PA Universität Stuttgart, 70174, Stuttgart, DE
72 Inventor IN Körner, Klaus, Dr., 10367, Berlin, DE
22/96 Application date AD May 8, 2017
21 Application number AN 102017004428
Country of application AC DE
Publication date PUB Nov 29, 2018
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM G01B 11/25 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC G01B 11/2513
G01B 11/2522
G01C 11/30
MCD main class MCM G01B 11/25 (2006.01)
MCD secondary class MCS
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Vorgeschlagen werden eine Anordnung und ein Verfahren zur tiefenscannenden Streifen-Triangulation mit internem oder externem Tiefen-Scan, insbesondere auch für die 3D-Gestaltmessung in Mikroskopie und Mesoskopie. Es soll die Robustheit der Messung mit Wavelet-Signal-Erzeugung aus einem Bilderstapel vergrößert werden. Das Auftreten der bekannten und sehr unerwünschten 2Pi-Phasensprünge in der Phasenkarte soll weitestgehend vermieden werden. Dazu werden bei einer Messung anstelle eines Wavelets mindestens zwei Wavelets mit Kontrasteinhüllender erzeugt. Dies erfolgt durch eine zeitgleiche - dann vorzugsweise mit spektraler Trennung - oder durch eine sequenzielle Projektion von zwei Streifenbildern mit unterschiedlicher Triangulationswellenlänge auf das Messobjekt.
56 Cited documents identified in the search CT US020040246496A1
56 Cited documents indicated by the applicant CT DE000004134546C2
DE000010056073A1
DE000010321883A1
DE000010321888A1
DE000019749435A1
DE000019749974C2
DE000019846145A1
DE000019919584A1
DE000069914886T2
DE102007056207B4
DE102010064593A1
US000003013467A
US000007286246B2
WO001998045745A1
WO001999052416A1
WO002000066972A1
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP K. Körner et al.; Projection of structured light in object planes of varying depths for absolute 3D profiling in a triangulation setup?; Proc. SPIE Vol. 4398, 2001, S. 23 ? 34 n
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP J.-M. Nivet, K. Körner, U. Droste, M. Fleischer, H. Tiziani, W. Osten mit dem Titel „Depth-scanning fringe projection technique (DSFP) with 3-D calibration“, in Proceedings of SPIE Vol. 5144, S. 443-449 (2003) 1;
K. Körner und R. Windecker, „Absolute macroscopic 3-D measurement with the innovative depth-scanning fringe projection technique (DSFP),“ Optik 112, 433-441 (2001) 1;
K. Körner, R. Windecker, M. Fleischer, H. Tiziani, „One-grating projection for absolute three-dimensional profiling“, Optical Engineering, Vol. 40 No. 8, S. 1653- 1660 (August 2001) 1;
M. Ishihara, Y .Nakazato, H. Sasaki, M. Tonooka, M. Yamamoto, Y. Otani, T. Yoshizawa mit dem Titel „Three-dimensional surface measurement using grating projection method by detecting phase and contrast“, in Proc. SPIE Vol.3740, pp.114-117(1999) 1;
Peter de Groot mit Vorteil verwendet werden. Dieser ist im Fachartikel [7] „Derivations of algorithms for phase-shifting interferometry using the concept of a data-sampling window“ auf Seite 4727 angegeben, der in der Fachzeitschrift Applied Optics 34 (22), 4723-4730 (1995) 1;
R. Windecker, M. Fleischer und H. Tiziani mit dem Titel „Threedimensional topometry with stereo microscopes“ in der Fachzeitschrift Optical Engineering 36, (12) S. 3372 - 7777 (1997) 1;
T. Bothe, W. Osten, A. Gesierich, W. Jüptner mit dem Titel „Compact 3D-Camera“, Proc. of SPIE 4778, S. 48-59 (2002) 1
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