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Inventor |
IN |
Dietmann, Stefan, 63755, Alzenau, DE
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Moos, Ralf, Dr., 95447, Bayreuth, DE
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Schubert, Michael, 95448, Bayreuth, DE
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Turwitt, Martin, Dr., 63486, Bruchköbel, DE
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Wienand, Karlheinz, Dr., 63741, Aschaffenburg, DE
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Zinkevich, Matsvei, Dr., 63773, Goldbach, DE
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Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensors, insbesondere eines Temperatursensors, umfassend mindestens eine elektrisch leitfähige Schicht und mindestens eine weitere Schicht, insbesondere eine Passivierungsschicht und/oder eine Isolationsschicht. Erfindungsgemäß wird die elektrisch leitfähige Schicht und/oder die weitere Schicht, insbesondere die Passivierungsschicht und/oder die Isolationsschicht, mittels Aerosol-Abscheidung (Aerosol Deposition Method, ADM) hergestellt. |
