Bibliographic data

Document DE102016115801A1 (Pages: 15)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] TRANSISTORBAUELEMENT MIT HOHER STROMFESTIGKEIT
71/73 Applicant/owner PA Infineon Technologies AG, 85579, Neubiberg, DE
72 Inventor IN Baburske, Roman, Dr., 83624, Otterfing, DE ; Bhojani, Riteshkumar, 09126, Chemnitz, DE ; Lutz, Josef, Prof. Dr., 09126, Chemnitz, DE ; Niedernostheide, Franz Josef, Dr., 49170, Hagen, DE ; Schulze, Hans-Joachim, Dr., 82024, Taufkirchen, DE
22/96 Application date AD Aug 25, 2016
21 Application number AN 102016115801
Country of application AC DE
Publication date PUB Mar 1, 2018
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31
32
Priority data PRC
PRN
PRD


51 IPC main class ICM H01L 29/739 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC H01L 27/0222
H01L 29/0603
H01L 29/0619
H01L 29/0684
H01L 29/0696
H01L 29/0834
H01L 29/36
H01L 29/7393
H01L 29/7397
H03K 17/16
MCD main class MCM H01L 29/739 (2006.01)
MCD secondary class MCS
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Es ist ein Transistorbauelement offenbart. Das Transistorbauelement weist ein erstes Emittergebiet (12) von einem ersten Dotierungstyp, ein zweites Emittergebiet (14) von einem zweiten Dotierungstyp, ein Bodygebiet (13) vom zweiten Dotierungstyp, ein Driftgebiet (11) vom ersten Dotierungstyp, ein Feldstoppgebiet (15) vom ersten Dotierungstyp, zumindest eine Booststruktur (30) und eine Gateelektrode (21), die durch ein Gatedielektrikum (22) gegenüber dem Bodygebiet (13) dielektrisch isoliert ist, auf. Das Bodygebiet (13) ist zwischen dem ersten Emittergebiet (12) und dem Driftgebiet (11) angeordnet, das Feldstoppgebiet (15) ist zwischen dem Driftgebiet (11) und der zumindest einen Booststruktur (30) angeordnet, und die Booststruktur (30) ist zwischen dem Feldstoppgebiet (15) und dem zweiten Emittergebiet (14) angeordnet. Die zumindest eine Booststruktur (30) weist ein Basisgebiet (33) vom ersten Dotierungstyp und zumindest ein durch das Basisgebiet von dem zweiten Emittergebiet (14) getrenntes Hilfsemittergebiet (31) vom zweiten Dotierungstyp auf. Eine Gesamtdotierstoffdosis in dem Driftgebiet (11) und dem Feldstoppgebiet (15) in einer Stromflussrichtung des Transistorbauelements ist höher als eine Durchbruchsladung eines Halbleitermaterials des Driftgebiets (11) und des Feldstoppgebiets (15).
56 Cited documents identified in the search CT DE000010361136A1
DE102005029263A1
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56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
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Search file IPC ICP H01L 21/331
H01L 29/06
H01L 29/08
H01L 29/739