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Inventor |
IN |
Körner, Klaus, Dr., 70563, Stuttgart, DE
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Osten, Wolfgang, Prof. Dr., 70569, Stuttgart, DE
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Abstract |
AB |
[DE] Anordnung zur robusten Zweistrahl-Interferometrie, welche folgende Mittel umfasst:eine Quelle kurzkohärenter elektromagnetischer Strahlung (1,103, 104) zur Beleuchtung eines Objekts (10, 107, 108, 109, 110),ein Interferometer mit einem Objektstrahlengang (O), einem Referenzstrahlengang (R) und einer Messebene (ME) im Objektstrahlengang, in der sich zumindest näherungsweise die optisch anzumessenden Oberflächen- oder Volumenelemente des Objekts (10, 107, 108, 109, 110) befinden; undmindestens einen gerasterten Detektor (20, 201, 202) zur Detektion elektromagnetischer Strahlung in Form mindestens eines räumlichen Interferogramms, wobei:im Referenzstrahlengang (R) des Interferometers mindestens ein End-Reflektor als Referenzreflektor angeordnet ist, wobei der End-Reflektor als eine Dreifach-Reflexions-Anordnung (111, 112, 113) mit drei Reflexionsflächen ausgebildet ist,die drei Reflexionsflächen jeweils zumindest näherungsweise senkrecht zu einer gemeinsamen Bezugsebene (BE) liegen; unddie drei Spurgeraden der Ebenen, welche durch die drei Reflexionsflächen dargestellt werden, in der Bezugsebene (BE) ein Dreieck ABC mit einem stumpfen Winkel bilden, wobei die erste Reflexionsfläche (13, 131, 132) auf einer Geraden liegt, auf welcher die Punkte C und B liegen, die zweite Reflexionsfläche (14, 141, 142) auf einer Geraden (m) liegt, auf welcher die Punkte A und C liegen und die dritte Reflexionsfläche (15, 151, 152) auf einer Geraden (k) liegt, auf welcher die Punkte A und B liegen,der Strahlengang der Dreifach-Reflexions-Anordnung (111, 112, 113) gekreuzt oder ein W-Strahlengang ist,die zweite Reflexionsfläche (14, 141) als zweite der drei Reflexionsflächen zur Reflexion eines fokussierten Bündels FB genutzt wird und die erste Reflexionsfläche (13, 131) als erste oder dritte der drei Reflexionsflächen zur Reflexion genutzt wird,die erste Reflexionsfläche (13, 131, 132) und die zweite Reflexionsfläche (14, 141, 142) in einem spitzen Winkel relativ zueinander angeordnet sind,die erste Reflexionsfläche (13, 131) und die dritte Reflexionsfläche (15, 151) in einem stumpfen Winkel CBD relativ zueinander angeordnet sind, undes eine Normale N_m vom Punkt B auf die zweite Reflexionsfläche (14, 141) gibt,gekennzeichnet dadurch, dass für die Dreifach-Reflexions-Anordnung (111, 112, 113) ein Winkel gamma zwischen einem Randstrahl (RAS) des ein- oder des austretenden Bündels und der zweiten Reflexionsfläche (14, 141) besteht und dabei für den Winkel gamma < 12° gilt. |
