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Titel |
TI |
[DE] Elektrodenanordnung und Plasmaquelle zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Plasmaquelle |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
terraplasma GmbH, 85748, Garching, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Li, Yang Fang, Dr., 82140, Olching, DE
;
Morfill, Gregor, Prof. Dr. Dr. h.c., 81927, München, DE
;
Shimizu, Tetsuji, Dr., 85748, Garching, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
23.07.2015 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102015213975 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
26.01.2017 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H05H 1/46
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
A61L 2/14
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H01J 37/32532
H01J 49/10
H05H 1/2418
H05H 1/2439
H05H 1/46
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
H05H 1/46
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
A61L 2/14
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung (5) zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas, mit einer ersten Elektrode (7) und einer zweiten Elektrode (9), die durch ein dielektrisches Element (11) elektrisch voneinander isoliert und voneinander beabstandet sind. Es ist vorgesehen, dass die erste Elektrode (9) – in Richtung der Beabstandung der Elektroden (7, 9) voneinander gesehen – eine Dicke von mindestens 10 µm aufweist, wobei die zweite Elektrode (9) – in Richtung der Beabstandung der Elektroden (7, 9) voneinander gesehen – eine Dicke von mindestens 5 µm bis höchstens 30 µm aufweist, und wobei das dielektrische Element (11) eine Dicke von mindestens 10 µm bis höchstens 250 µm aufweist. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000010108717C1
DE202008008733U1
JP000H07309605A
US000004783716A
US000005407639A
US000007017863B2
US020140207053A1
WO002009098662A1
WO002012150041A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
Norm ISO 25178 1
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
A47L 5/12 B
A61L 2/14
H05H 1/46
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