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Titel |
TI |
[DE] Vorrichtung zur Erzeugung eines Aerosols für die aerosolbasierte Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM) |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE
;
Exner, Jörg, Dipl.-Ing. , 95445, Bayreuth, DE
;
Hanft, Dominik, Dipl.-Ing. , 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michael, Dipl.-Ing. , 95448, Bayreuth, DE
;
Stöcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE
;
Exner, Jörg, Dipl.-Ing. , 95445, Bayreuth, DE
;
Hanft, Dominik, Dipl.-Ing. , 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michael, Dipl.-Ing. , 95448, Bayreuth, DE
;
Stöcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
20.11.2015 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102015014966 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
24.05.2017 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
C23C 24/04
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B05C 5/02
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
C23C 24/04
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
C23C 24/04
(2006.01)
|
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B05C 5/02
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung von Pulvern, deren aerosolerzeugende Vorrichtung sich in einer Kammer befindet, in welcher Gasspezies und Druckverhältnisse definiert eingestellt werden können. Durch diese Bedingungen kann ein optimaler Betrieb der Einheit erreicht und Umgebungseinflüsse auf den Prozess vermieden werden. Auch für Umgebungsdruck ausgelegte aerosolerzeugende Vorrichtungen können dadurch für den Prozess der aerosolbasierten Kaltabscheidung Verwendung finden. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
US000007553376B2
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
D. Hanft, J. Exner, M. Schubert, T. Stöcker, P. Fuierer, R. Moos: An Overview of the Aerosol Deposition Method: Process Fundamentals and New Trends in Materials Applications, J. Ceram. Sci. Technol., 6, 147–182 (2015), doi: 10.4416/JCST2015-00018 1;
H. Salmang, H. Scholze: Keramik, 7th ed, Springer-Verlag, Berlin Heidelberg (2007), p. 857–859, 906, ISBN 3-540-63273-5 1;
J. Akedo, M. Lebedev: Microstructure and Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate (Pb(Zr52/Ti48)O3) Thick Films Deposited by Aerosol Deposition Method, Jpn. J. Appl. Phys., 38, 5397–5401 (1999), doi: 10.1143/JJAP.38.5397 1;
J. Akedo: Room temperature impact consolidation (RTIC) of fine ceramic powder by aerosol deposition method and applications to microdevices, J. Therm. Spray Tech., 17, 181–198 (2008), doi: 10.1007/s11666-008-9163-7 1;
K. Sahner, M. Kaspar, R. Moos: Assessment of the novel aerosol deposition method for room temperature preparation of metal oxide gas sensor films, Sens. Actuators. B: Chemical, 139, 394–399 (2009), doi: 10.1016/j.snb.2009.03.011 1;
M. Schubert, J. Exner, R. Moos: Influence of carrier gas composition on the stress of Al2O3 coatings prepared by the aerosol deposition method, Materials, 7, 5633–5642 (2014), doi: 10.3390/ma7085633 1
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B05C 5/02
C23C 24/04
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