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Title |
TI |
[DE] Vorrichtung zur Erzeugung eines Aerosols für die aerosolbasierte Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM) |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE
;
Exner, Jörg, Dipl.-Ing. , 95445, Bayreuth, DE
;
Hanft, Dominik, Dipl.-Ing. , 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michael, Dipl.-Ing. , 95448, Bayreuth, DE
;
Stöcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE
;
Exner, Jörg, Dipl.-Ing. , 95445, Bayreuth, DE
;
Hanft, Dominik, Dipl.-Ing. , 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michael, Dipl.-Ing. , 95448, Bayreuth, DE
;
Stöcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Nov 20, 2015 |
| 21 |
Application number |
AN |
102015014966 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
May 24, 2017 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
C23C 24/04
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
B05C 5/02
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
C23C 24/04
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MCD main class |
MCM |
C23C 24/04
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
B05C 5/02
(2006.01)
|
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung von Pulvern, deren aerosolerzeugende Vorrichtung sich in einer Kammer befindet, in welcher Gasspezies und Druckverhältnisse definiert eingestellt werden können. Durch diese Bedingungen kann ein optimaler Betrieb der Einheit erreicht und Umgebungseinflüsse auf den Prozess vermieden werden. Auch für Umgebungsdruck ausgelegte aerosolerzeugende Vorrichtungen können dadurch für den Prozess der aerosolbasierten Kaltabscheidung Verwendung finden. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
US000007553376B2
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
D. Hanft, J. Exner, M. Schubert, T. Stöcker, P. Fuierer, R. Moos: An Overview of the Aerosol Deposition Method: Process Fundamentals and New Trends in Materials Applications, J. Ceram. Sci. Technol., 6, 147–182 (2015), doi: 10.4416/JCST2015-00018 1;
H. Salmang, H. Scholze: Keramik, 7th ed, Springer-Verlag, Berlin Heidelberg (2007), p. 857–859, 906, ISBN 3-540-63273-5 1;
J. Akedo, M. Lebedev: Microstructure and Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate (Pb(Zr52/Ti48)O3) Thick Films Deposited by Aerosol Deposition Method, Jpn. J. Appl. Phys., 38, 5397–5401 (1999), doi: 10.1143/JJAP.38.5397 1;
J. Akedo: Room temperature impact consolidation (RTIC) of fine ceramic powder by aerosol deposition method and applications to microdevices, J. Therm. Spray Tech., 17, 181–198 (2008), doi: 10.1007/s11666-008-9163-7 1;
K. Sahner, M. Kaspar, R. Moos: Assessment of the novel aerosol deposition method for room temperature preparation of metal oxide gas sensor films, Sens. Actuators. B: Chemical, 139, 394–399 (2009), doi: 10.1016/j.snb.2009.03.011 1;
M. Schubert, J. Exner, R. Moos: Influence of carrier gas composition on the stress of Al2O3 coatings prepared by the aerosol deposition method, Materials, 7, 5633–5642 (2014), doi: 10.3390/ma7085633 1
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
B05C 5/02
C23C 24/04
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