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Titel |
TI |
[DE] Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung ( Aerosol-Depositions-Methode, ADM) |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE
;
Engelbrecht, Andreas, Dipl.-Ing., 95503, Hummeltal, DE
;
Exner, Jörg, Dipl.-Ing., 95445, Bayreuth, DE
;
Hanft, Dominik, Dipl.-Ing. , 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michael, Dipl.-Ing. , 95448, Bayreuth, DE
;
Stöcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Bruckner, Michaela, M.Sc., 95447, Bayreuth, DE
;
Engelbrecht, Andreas, Dipl.-Ing., 95503, Hummeltal, DE
;
Exner, Jörg, Dipl.-Ing., 95445, Bayreuth, DE
;
Hanft, Dominik, Dipl.-Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof.Dr.-Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Schubert, Michael, Dipl.-Ing., 95448, Bayreuth, DE
;
Stöcker, Thomas, M.Sc., 95444, Bayreuth, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
25.09.2015 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102015012425 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
30.03.2017 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B05C 5/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B05C 15/00
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B05B 13/0405
B05B 14/30
C23C 24/04
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B05C 5/00
(2006.01)
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|
MCD-Nebenklasse |
MCS |
B05C 15/00
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft eine Anlage zur aerosolbasierten Kaltabscheidung von Pulvern, deren Vakuumkammer, entsprechend des Vorbildes einer Saugglocke, erst während des Prozesses gebildet wird, indem ein Substrat, ein Substratträger, eine Substratauflage oder eine Düsenplatte, direkt bzw. unter Zuhilfenahme einer Dichtung, einen einseitig geöffneten Hohlkörper verschließt. Dadurch ist es möglich das Vakuumkammervolumen, unabhängig von der Substratgröße, zu reduzieren, um so Platz sowie Evakuierungs- bzw. Totzeit einzusparen. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000004121032A1
DE102010060664A1
US020150147565A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
US000007553376B2
US000007908993B2
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B05C 15/00
B05C 5/00
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