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Document DE102014205342A1 (Pages: 18)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Ruthenium-Precursoren zur Abscheidung von Rutheniumschichten, Herstellung und Verwendung
71/73 Applicant/owner PA Technische Universität Chemnitz, 09111, Chemnitz, DE
72 Inventor IN Georgi, Colin, 09111, Chemnitz, DE ; Jeschke, Janine, 09126, Chemnitz, DE ; Lang, Heinrich, Prof. Dr. , 09125, Chemnitz, DE
22/96 Application date AD Mar 21, 2014
21 Application number AN 102014205342
Country of application AC DE
Publication date PUB Sep 24, 2015
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM C07F 15/00 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS C23C 16/16 (2006.01)
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC C07F 15/0046
C23C 16/16
C23C 16/18
MCD main class MCM C07F 15/00 (2006.01)
MCD secondary class MCS C23C 16/16 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Die vorliegende Erfindung betrifft neue Ruthenium-Precursoren zur Abscheidung von Rutheniumschichten, deren Herstellung und ein Verfahren für die Abscheidung dünner Rutheniumschichten oder Ruthenium-enthaltender Schichten mittels Gasphasenabscheidung. Die erfindungsgemäßen Ruthenium-Precursoren zur Abscheidung von Rutheniumschichten, enthalten Verbindungen der allgemeinen Formel Ru(CO)2L2(O2CR1)(O2CR2) wobei Liganden L gleiche oder verschiedene Zweielektronenpaardonatoren sind, ausgewählt aus Phosphan, Phosphit, Arsan und/oder Amin der allgemeinen Formel E(R3R4R5) mit E = Phosphor, Arsen oder Stickstoff und R3, R4 und R5 gleich oder verschieden, ausgewählt aus Alkyl-, Aryl-Rest und/oder OR6 mit R6 = Alkyl- und/oder Aryl-Rest, wobei O2CR1 und O2CR2 gleiche oder verschiedene Carboxylate sind und wobei die Rest R1 und R2 unabhängig voneinander ein gegebenenfalls substituierter, verzweigter, unverzweigter oder zyklischer Alkyl- oder Aryl-Rest oder H sind und wobei CO Carbonyle sind.
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WO002003040150A1
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Search file IPC ICP C07F 15/00
C23C 16/16