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Titel |
TI |
[DE] Ruthenium-Precursoren zur Abscheidung von Rutheniumschichten, Herstellung und Verwendung |
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Anmelder/Inhaber |
PA |
Technische Universität Chemnitz, 09111, Chemnitz, DE
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Erfinder |
IN |
Georgi, Colin, 09111, Chemnitz, DE
;
Jeschke, Janine, 09126, Chemnitz, DE
;
Lang, Heinrich, Prof. Dr. , 09125, Chemnitz, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
21.03.2014 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102014205342 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
24.09.2015 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
C07F 15/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
C23C 16/16
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
C07F 15/0046
C23C 16/16
C23C 16/18
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
C07F 15/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
C23C 16/16
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die vorliegende Erfindung betrifft neue Ruthenium-Precursoren zur Abscheidung von Rutheniumschichten, deren Herstellung und ein Verfahren für die Abscheidung dünner Rutheniumschichten oder Ruthenium-enthaltender Schichten mittels Gasphasenabscheidung. Die erfindungsgemäßen Ruthenium-Precursoren zur Abscheidung von Rutheniumschichten, enthalten Verbindungen der allgemeinen Formel Ru(CO)2L2(O2CR1)(O2CR2) wobei Liganden L gleiche oder verschiedene Zweielektronenpaardonatoren sind, ausgewählt aus Phosphan, Phosphit, Arsan und/oder Amin der allgemeinen Formel E(R3R4R5) mit E = Phosphor, Arsen oder Stickstoff und R3, R4 und R5 gleich oder verschieden, ausgewählt aus Alkyl-, Aryl-Rest und/oder OR6 mit R6 = Alkyl- und/oder Aryl-Rest, wobei O2CR1 und O2CR2 gleiche oder verschiedene Carboxylate sind und wobei die Rest R1 und R2 unabhängig voneinander ein gegebenenfalls substituierter, verzweigter, unverzweigter oder zyklischer Alkyl- oder Aryl-Rest oder H sind und wobei CO Carbonyle sind. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
US020040241321A1
WO002003040150A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
BIANCHI, Mario [et al.]: PHOSPHINE-SUBSTITUTED RUTHENIUM CARBONYL CARBOXYLATES. In: J. Organomet. Chem. Vol. 259, 1983, S. 207-214. p 0;
COLLMAN, James P., ROPER, Warren R.: Preparation and Oxidative Addition Reactions of a Monomeric Ruthenium(0) Complex. In: J. Am. Chem. Soc., Vol. 87, No. 17, 1965, S. 4008-4009. p 0;
HUGHES, David L. [et al.]: Preparation of Potential Macroligands [...]. In: J. Chem. Soc. Dalton Trans. 1984, S.739 - 742. p 0;
MICOLI, F. [et al.]: Mononuclear ruthenium complexes containing two different phosphines in trans position: I. Synthesis and spectroscopic characterization. In: J. Organomet. Chem., Vol. 690, 2005, S.4867-4877. p 0;
SALVINI, Antonella [et al.]: On the behaviour of Ru(I) and Ru(II) carbonyl acetates in the presence of H2 and/or acetic acid [...]. In: J. Organomet. Chem. Vol. 690, 2005, S. 371-382. p 0;
SHARMIN, Ayesha [et al.]: Tuning photophysical properties with ancillary ligands in Ru(II) mono-diimine complexes. In: J. Organomet. Chem., Vol. 694, 2009, S.988-1000. p 0
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
Aoyama et al., Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, L1134 1;
Gatineau et al., Surf. Coat. Technol. 2007, 201, 9146 1;
Henderson et al., Thin Solid Films 2009, 517, 1645 1;
Hurýeva et al., Chem. Vapor Dep. 2006, 12, 429 1;
Kang et al., J. Electrochem. Soc. 2000, 147, 1161 1;
Kawano et al., Electrochem. Solid-State Lett. 2009, 12, D80 1;
Kim et al., Chem. Vapor Dep. 2003, 9, 105 1;
Matsui et al., Electrochem. Solid-State Lett. 2001, 4, C9 1;
Park et al., J. Electrochem. Soc. 2000, 147, 203 1;
Shin et al., Surf. Coat. Technol. 2007, 201, 9256 1
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
C07F 15/00
C23C 16/16
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