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Titel |
TI |
[DE] MEMS-Sensor, insbesondere Differenzdrucksensor |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Endress + Hauser GmbH + Co. KG, 79689, Maulburg, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Lemke, Benjamin, Dr., 12051, Berlin, DE
;
Lopatin, Sergej, Dr., 79540, Lörrach, DE
;
Teipen, Rafael, Dr., 10407, Berlin, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
30.10.2014 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102014115803 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
19.05.2016 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B81B 7/02
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81B 3/00
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
G01L 13/02
(2006.01)
G01L 9/06
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81B 2201/0264
B81B 2207/07
B81B 7/007
G01L 13/025
G01L 9/0073
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B81B 7/02
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81B 3/00
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
G01L 13/02
(2006.01)
G01L 9/06
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Ein MEMS-Sensor (100) zum Erfassen einer Messgröße, insbesondere ein Differenzdrucksensor zum Erfassen eines Differenzdrucks umfasst: einen Sensorkörper, welcher mindestens zwei in einer Verbindungsebene miteinander verbundene Lagen (110, 112, 114, 119, 121) aufweist, von denen mindestens eine (112, 114, 119, 121), mittels eines Ätzverfahrens strukturiert ist, wobei der MEMS-Sensor einen elektrischen Wandler zum Bereitstellen eines von der Messgröße abhängigen elektrischen Signals aufweist, wobei der Wandler die mindestens eine strukturierte Lage umfasst metallische elektrische Anschlussflächen (138, 140, 142, 144), welche mit dem Wandler elektrisch verbunden sind, wobei der Wandler über die elektrischen Anschlussflächen kontaktierbar ist; dadurch gekennzeichnet, dass die elektrischen Anschlussflächen (138, 140, 142, 144) an mindestens einer Seitenfläche des Sensorkörpers angeordnet sind, die im Wesentlichen senkrecht zu der Verbindungsebene verläuft. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000004011734A1
DE000010321214A1
DE000010393943B3
GB000002314933A
US000004769738A
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 3/00
B81B 7/02
B81C 1/00
G01L 13/02
G01L 9/06
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