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Document DE102012216497A1 (Pages: 14)

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Bibliographic data Document DE102012216497A1 (Pages: 14)
INID	Criterion	Field	Contents
54	Title	TI	[DE] Elektronische Sensorvorrichtung zum Detektieren von chemischen oder biologischen Spezies, mikrofluidische Vorrichtung mit einer derartigen Sensorvorrichtung sowie Verfahren zum Herstellen der Sensorvorrichtung und Verfahren zum Herstellen der mikrofluidischen Vorrichtung
71/73	Applicant/owner	PA	Robert Bosch GmbH, 70469, Stuttgart, DE
72	Inventor	IN	Bischopink, Georg, 72124, Pliezhausen, DE ; Brettschneider, Thomas, 70806, Kornwestheim, DE ; Dorrer, Christian, 70193, Stuttgart, DE ; Laermer, Franz, 71263, Weil der Stadt, DE
22/96	Application date	AD	Sep 17, 2012
21	Application number	AN	102012216497
	Country of application	AC	DE
	Publication date	PUB	Mar 20, 2014
33 31 32	Priority data	PRC PRN PRD
51	IPC main class	ICM	G01N 27/00 (2006.01)
51	IPC secondary class	ICS	B81B 1/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01)
	IPC additional class	ICA
	IPC index class	ICI
	Cooperative patent classification	CPC	B01L 2200/10 B01L 2300/0636 B01L 2300/0645 B01L 2300/0816 B01L 2300/0877 B01L 3/502707 C12Q 1/6825 G01N 33/5438 H01L 21/02 H10D 48/30
	MCD main class	MCM	G01N 27/00 (2006.01)
	MCD secondary class	MCS	B81B 1/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01)
	MCD additional class	MCA
57	Abstract	AB	[DE] Eine elektronische Sensorvorrichtung (10) zum Detektieren von chemischen oder biologischen Spezies (12, 12’ 12’’), insbesondere Ionen, Molek�le, Proteine, RNA-Molek�le, DNA-Sequenzen, Antigene, Viren, Bakterien oder Zellen, umfasst mindestens einen aus einem Halbleitersubstrat (36) hergestellten Halbleiter-Chip (30), der f�r eine oder mehrere Funktionen ausgebildet ist, die ausgew�hlt sind aus einer Gruppe, die folgendes umfasst: Verst�rken bzw. Auswerten einer elektrischen Spannung, Verst�rken bzw. Auswerten eines elektrischen Stroms, Verst�rken bzw. Auswerten einer elektrischen Ladung und Verst�rken bzw. Auslesen von Kapazit�ts�nderungen, mindestens eine Sensorenrichtung (40, 40’) mit einer aktiven Sensoroberfl�che (42), die dazu ausgebildet ist, chemische oder biologische Spezies (12, 12’, 12’’) zu detektieren und infolge einer f�r die Spezies charakteristischen Wechselwirkung mit der aktiven Sensoroberfl�che (42) ein elektrisches Signal zu erzeugen, das aus einer Gruppe ausgew�hlt ist, die folgendes umfasst: eine elektrische Spannung, ein elektrischer Strom, eine elektrische Ladung und eine Kapazit�ts�nderung, und ein aus einem schmelzformbaren Material (26) hergestelltes Substrat (20) mit einer Substratoberfl�che (22), die mindestens einen ersten Bereich und mindestens einen zweiten Bereich umfasst, wobei in dem mindestens einen ersten Bereich der mindestens eine Halbleiter-Chip (30) aufgebracht oder zumindest teilweise eingebettet ist und in dem mindestens einen zweiten Bereich die mindestens eine Sensoreinrichtung (40, 40’) aufgebracht oder zumindest teilweise eingebettet ist. Eine derartige elektronische Sensorvorrichtung (10) kann in einer mikrofluidischen Vorrichtung (100) zum Detektieren von der Vorrichtung (100) in einer Analytl�sung zuf�hrbaren chemischen oder biologischen Spezies (12, 12’, 12’’) eingebaut sein. Ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischer Sensorvorrichtung (10) und ein Verfahren zum Herstellen einer mikrofluidischen Vorrichtung (100) werden ebenfalls offenbart.
56	Cited documents identified in the search	CT	DE000010111458A1 DE000010122133A1 EP000001591780A2 KR102010100083A WO002010089226A1
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	Sequence listings
	Search file IPC	ICP	B01L 3/00 B81B 1/00 B81C 1/00 G01N 27/00 G01N 27/07 G01N 27/22 G01N 33/48 H1 G01N 33/483 D1 G01N 33/543