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Titel |
TI |
[DE] Verfahren zur Herstellung eines tribologisch belasteten Schichtverbunds, Schichtverbund und Verwendung einer metallorganischen Verbindung zur Herstellung einer Funktionsschicht des Schichtverbunds |
71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Schaeffler Technologies AG & Co. KG, 91074, Herzogenaurach, DE
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72 |
Erfinder |
IN |
Hosenfeldt, Tim Matthias, 90480, Nürnberg, DE
;
Musayev, Yashar, 90419, Nürnberg, DE
;
Schneider, Andreas, 91330, Eggolsheim, DE
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22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
26.06.2012 |
21 |
Anmeldenummer |
AN |
102012210796 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
02.01.2014 |
33 31 32 |
Priorität |
PRC PRN PRD |
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51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
C23C 16/06
(2012.01)
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51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
C23C 16/16
(2012.01)
C23C 16/18
(2012.01)
C23C 28/00
(2012.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
C23C 16/0281
C23C 16/16
C23C 16/18
C23C 16/26
C23C 16/452
C23C 16/50
C23C 16/513
C23C 28/322
C23C 28/343
C23C 28/347
Y10T 428/12625
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
C23C 16/06
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
C23C 16/16
(2006.01)
C23C 16/18
(2006.01)
C23C 28/00
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines tribologisch belasteten Schichtverbunds mit einem Substrat und einer aus wolframhaltigem, amorphem diamantähnlichen Kohlenstoff gebildeten Funktionsschicht. Um derartige Funktionsschichten einfach herstellen zu können, wird diese mittels eines wolframhaltigen Precursors unter Verwendung eines PACVD-Verfahrens aufgebracht. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Schichtverband mit einer mittels eines Precursors hergestellten Funktionsschicht und die Verwendung einer metallorganischen Verbindung als Precursor zur Herstellung einer Funktionsschicht. |
56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, in Recherche ermittelt |
CT |
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56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, vom Anmelder genannt |
CT |
WO002010026092A2
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56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, in Recherche ermittelt |
CTNP |
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56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
C23C 16/02
C23C 16/06
C23C 16/16
C23C 16/18
C23C 16/26
C23C 28/00
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