| 54 |
Titel |
TI |
[DE] Verfahren und Vorrichtung zum Transport flacher Substrate |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Hochschule Offenburg, 77652, Offenburg, DE
|
| 72 |
Erfinder |
IN |
Banzhaf, Hannah, 79117, Freiburg, DE
;
Frenssen, Teresa, 77723, Gengenbach, DE
;
Kray, Daniel, 79104, Freiburg, DE
;
Nowak, Patrick, 77654, Offenburg, DE
;
Reim, Sofia, 77749, Hohberg, DE
;
Sautermeister, Christian, 79730, Murg, DE
;
Schwarz, Alexander, 77749, Hohberg, DE
|
| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
13.11.2012 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102012110916 |
|
Anmeldeland |
AC |
DE |
|
Veröffentlichungsdatum |
PUB |
17.07.2014 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
|
| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01L 21/677
(2006.01)
|
| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B65G 49/07
(2006.01)
H01L 21/306
(2006.01)
|
|
IPC-Zusatzklasse |
ICA |
|
|
IPC-Indexklasse |
ICI |
|
|
Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H01L 21/67712
H01L 21/67784
|
|
MCD-Hauptklasse |
MCM |
H01L 21/677
(2006.01)
|
|
MCD-Nebenklasse |
MCS |
B65G 49/07
(2006.01)
H01L 21/306
(2006.01)
|
|
MCD-Zusatzklasse |
MCA |
|
| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate. Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) in eine Transportrichtung innerhalb eines mit einem flüssigen Medium (F) gefüllten Transportkanals (2), wobei das flüssige Medium (F) gegen mindestens eine der Flachseiten des Substrats (1) strömt und eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats (1) aufhebende Tragekomponente, sowie eine in Transportrichtung gerichtete Vorschubkomponente aufweist, so dass das Substrat (1) ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst einen Transportkanal (2) zur Aufnahme eines flüssiges Mediums (F) sowie eines innerhalb dieses Mediums (F) in vertikaler Ausrichtung zu führenden Substrats (1), wobei der Transportkanal (2) in seinem Wandbereich (3, 4) Einströmöffnungen (5) aufweist. |
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
WO002003086914A1
WO002009153061A1
|
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
|
|
Zitierende Dokumente |
|
Dokumente ermitteln
|
|
Sequenzprotokoll |
|
|
|
Prüfstoff-IPC |
ICP |
H01L 21/306
H01L 21/677
|
