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Title |
TI |
[DE] Verfahren und Vorrichtung zum Transport flacher Substrate |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Hochschule Offenburg, 77652, Offenburg, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Banzhaf, Hannah, 79117, Freiburg, DE
;
Frenssen, Teresa, 77723, Gengenbach, DE
;
Kray, Daniel, 79104, Freiburg, DE
;
Nowak, Patrick, 77654, Offenburg, DE
;
Reim, Sofia, 77749, Hohberg, DE
;
Sautermeister, Christian, 79730, Murg, DE
;
Schwarz, Alexander, 77749, Hohberg, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Nov 13, 2012 |
| 21 |
Application number |
AN |
102012110916 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
May 28, 2014 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
H01L 21/677
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
B65G 49/07
(2006.01)
H01L 21/306
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
H01L 21/67712
H01L 21/67784
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MCD main class |
MCM |
H01L 21/677
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
B65G 49/07
(2006.01)
H01L 21/306
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate. Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) in eine Transportrichtung innerhalb eines mit einem flüssigen Medium (F) gefüllten Transportkanals (2), wobei das flüssige Medium (F) gegen mindestens eine der Flachseiten des Substrats (1) strömt und eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats (1) aufhebende Tragekomponente, sowie eine in Transportrichtung gerichtete Vorschubkomponente aufweist, so dass das Substrat (1) ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst einen Transportkanal (2) zur Aufnahme eines flüssiges Mediums (F) sowie eines innerhalb dieses Mediums (F) in vertikaler Ausrichtung zu führenden Substrats (1), wobei der Transportkanal (2) in seinem Wandbereich (3, 4) Einströmöffnungen (5) aufweist. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
WO002003086914A1
WO002009153061A1
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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DE102019102492A1
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
B65G 49/06
H01L 21/306
H01L 21/677
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